[發明專利]微納熱電偶探針前體的批量制備裝置

有效

• 申請號: 201410015202.3
• 申請日: 2014-01-14
• 公開（公告）號: CN103700760A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 顧寧;汪建清
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: H01L35/34
• 分類號: H01L35/34;G01K7/02
• 代理公司: 江蘇永衡昭輝律師事務所 32250
• 代理人: 王斌

1.一種微納熱電偶探針前體的批量制備裝置，包括探針（91）、電極（92）、探針升降滑塊（9）、探針升降導軌模組（8）、模塊轉移工作臺（5）、模塊轉移滑臺（6）、模塊轉移導軌模組（7）、電化學腐蝕模塊（1）、清洗模塊（2）、烘干模塊（3）、絕緣層包覆模塊（4）和主控制模塊；所述探針（91）與所述電極（92）通過設置在所述探針升降滑塊（9）上的電極固定電路板（93）固定并電連接；所述探針升降滑塊（9）與所述探針升降導軌模組（8）垂直滑動配合；所述模塊轉移工作臺（5）一側面設置有若干組固定螺孔（51），若干探針升降導軌模組（8）通過所述固定螺孔（51）與所述模塊轉移工作臺（5）螺栓連接；在所述模塊轉移工作臺（5）的每組所述固定螺孔（51）的一側開有縱向貫通的電極槽（52）；所述模塊轉移工作臺（5）通過模塊轉移滑臺（6）與模塊轉移導軌模組（7）水平滑動連接；所述模塊轉移導軌模組（7）水平貫穿設置于電化學腐蝕模塊（1）、清洗模塊（2）、烘干模塊（3）和絕緣層包覆模塊（4）內頂部。

2.根據權利要求1所述微納熱電偶探針前體的批量制備裝置，其特征在于：所述主控制模塊包括主控制電路模塊和腐蝕控制電路模塊，所述模塊轉移滑臺（6）能夠在所述主控制電路模塊的控制下水平移動，所述探針升降滑塊（9）能夠在所述腐蝕控制電路模塊的控制下垂直移動。

3.根據權利要求2所述微納熱電偶探針前體的批量制備裝置，其特征在于：所述電化學腐蝕模塊（1）包括U型腐蝕槽固定板和若干內盛裝有電腐蝕溶液的U型腐蝕槽（11），所述U型腐蝕槽固定板設置于所述電化學腐蝕模塊（1）底部，若干內盛裝有腐蝕溶液的所述U型腐蝕槽（11）排列固定于所述U型腐蝕槽固定板上；所述探針（91）通過所述U型腐蝕槽（11）的一端開口與所述U型腐蝕槽（11）中盛裝的電腐蝕溶液接觸，所述電極（92）穿過所述電極槽（52）通過所述U型腐蝕槽（11）的另一端開口與所述U型腐蝕槽（11）中盛裝的電腐蝕溶液接觸，使所述探針（91）、所述電極（92）、電腐蝕溶液和所述電極固定電路板（93）形成電回路。

4.根據權利要求2所述微納熱電偶探針前體的批量制備裝置，其特征在于：所述清洗模塊（2）包括清洗槽（21）、蓄水池（22）、廢水池（23）和水泵，所述廢水池（23）設置在所述清洗模塊（2）的底部，所述清洗槽（21）設置于所述廢水池（23）的上方，所述水泵在所述主控制電路模塊的控制下將所述蓄水池（22）中的清洗液泵送入所述清洗槽（21）。

5.根據權利要求2所述微納熱電偶探針前體的批量制備裝置，其特征在于：所述烘干模塊（3）包括烘干室（31）、排風扇（32）、加熱片（33）、溫度傳感器和烘干室隔板（34），所述排風扇（32）、所述加熱片（33）和所述溫度傳感器設置于烘干室（31）內部；所述烘干室隔板（34）設置于烘干室（31）頂部，所述烘干室隔板（34）上設置有電極保護凹槽（35）和烘干室出風口（36）；所述排風扇（32）、和所述加熱片（33）在所述主控制電路模塊的控制下工作；所述溫度傳感器用于采集烘干室（31）內的溫度，并將溫度信號反饋給所述主控制電路模塊。

6.根據權利要求2所述微納熱電偶探針前體的批量制備裝置，其特征在于：所述絕緣層包覆模塊（4）包括絕緣層容器（41）、絕緣層容器固定架（42）、模塊密閉裝置以及濕度和溫度監控模塊，所述絕緣層容器固定架（42）設置于所述絕緣層包覆模塊（4）的底部，若干個內盛裝有絕緣層液的所述絕緣層容器（41）排列固定于所述絕緣層容器固定架（42）上；所述模塊密閉裝置用于控制所述的絕緣層包覆模塊（4）處于密閉狀態；所述濕度和溫度監控模塊用于監測所述絕緣層包覆模塊（4）內的溫度和濕度，并將檢測結果反饋給所述主控制電路模塊。

7.根據權利要求6所述微納熱電偶探針前體的批量制備裝置，其特征在于：所述的絕緣層包覆模塊（4）還包括設于底部的干燥劑容器（43）。