[發(fā)明專(zhuān)利]一種虛擬圖案多層堆棧單元的自我雙圖型分解方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410014615.X
• 申請(qǐng)日: 2014-01-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104778288B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊強(qiáng);李雪
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G06F17/50
• 分類(lèi)號(hào): G06F17/50
• 代理公司: 北京市磐華律師事務(wù)所11336
• 代理人: 董巍,高偉

1.一種虛擬圖案多層堆棧單元的自我雙圖型分解方法，所述方法通過(guò)轉(zhuǎn)移填充起始點(diǎn)填充四次虛擬圖案堆棧單元來(lái)實(shí)現(xiàn)多層堆棧單元中雙圖型分解要求層的雙圖型自我拆分，包括：

步驟(a)分解定義原始虛擬圖案多層堆棧單元為兩個(gè)新的多層堆棧單元A和B；

步驟(b)執(zhí)行第一填充步驟，首先定義所述填充起始點(diǎn)，從所述填充起始點(diǎn)開(kāi)始填充A堆棧單元，得到占全部虛擬圖案1/4的第一堆棧虛擬圖案；

步驟(c)執(zhí)行第二填充步驟，向右轉(zhuǎn)移所述填充起始點(diǎn)，以所述步驟(b)的填充間隔在所述第一堆棧虛擬圖案的一側(cè)填充B堆棧單元，得到占全部虛擬圖案1/4的第二堆棧虛擬圖案；

步驟(d)執(zhí)行第三填充步驟，向上轉(zhuǎn)移所述填充起始點(diǎn)，以所述步驟(b)的填充間隔在所述第一堆棧虛擬圖案的上方填充B堆棧單元，得到占全部虛擬圖案1/4的第三堆棧虛擬圖案；

步驟(e)執(zhí)行第四填充步驟，向右上方對(duì)角線方向轉(zhuǎn)移所述填充起始點(diǎn)，以步驟(b)的填充間隔在剩余的空間內(nèi)填充A堆棧單元，得到第四堆棧虛擬圖案。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步驟(a)中，A堆棧單元包括所述雙圖型分解要求層的A子數(shù)據(jù)類(lèi)型；B堆棧單元包括所述雙圖型分解要求層的B子數(shù)據(jù)類(lèi)型；所述A堆棧單元和所述B堆棧單元在所述A子數(shù)據(jù)類(lèi)型和所述B子數(shù)據(jù)類(lèi)型不同外剩余的設(shè)計(jì)完全相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟(b)中，填充堆棧單元之間的填充間隔的距離為X和Y，其中，X＝X₁+2X₂，Y＝Y(jié)₁+2Y₂；

所述X₁為所述原始虛擬圖案多層堆棧單元在X軸方向上邊長(zhǎng)的大小，所述X₂為所述原始虛擬圖案多層堆棧單元X軸方向上的填充間隔；所述Y₁為所述原始虛擬圖案多層堆棧單元在Y軸方向上邊長(zhǎng)的大小，所述Y₂為所述原始虛擬圖案多層堆棧單元Y軸方向上的填充間隔。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在所述步驟(c)和所述步驟(d)中，所述B堆棧單元的填充間距為X、Y；

在所述步驟(e)所述A堆棧單元的填充間距為X、Y。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在所述步驟(c)中，在X軸方向上將所述步驟(b)的填充起始點(diǎn)向右移動(dòng)X₁+X₂的距離，得到第二填充起始點(diǎn)，從所述第二填充起始點(diǎn)的位置開(kāi)始以和所述步驟(b)相同的填充間隔X、Y插入B堆棧單元，得到占全部虛擬圖案1/4的所述第二堆棧虛擬圖案。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在所述步驟(d)中，在Y軸方向上將所述步驟(b)的填充起始點(diǎn)向上移動(dòng)Y₁+Y₂的距離，得到第三填充起始點(diǎn)，從所述第三填充起始點(diǎn)的位置開(kāi)始以步驟(b)相同的填充間隔X、Y插入B堆棧單元，得到占全部虛擬圖案1/4的所述第三堆棧虛擬圖案。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在所述步驟(e)中，首先將所述步驟(b)的填充起始點(diǎn)沿X軸方向向右移動(dòng)X₁+X₂的距離，然后沿Y軸方向向上移動(dòng)Y₁+Y₂的距離，得到第四填充起始點(diǎn)，從所述第四填充起始點(diǎn)的位置開(kāi)始以步驟(b)相同的填充間隔X、Y插入A堆棧單元，得到剩余的占全部虛擬圖案1/4的所述第四堆棧虛擬圖案。

8.一種基于權(quán)利要求1至7所述的虛擬圖案多層堆棧單元的自我雙圖型分解方法的版圖雙圖型分解方法，所述方法包括：

步驟(I)提供圖樣版圖；

步驟(II)使用自動(dòng)虛擬圖案填充程式插入虛擬圖案，在該步驟中選用權(quán)利要求1至7之一所述虛擬圖案多層堆棧單元的自我雙圖型分解方法，以實(shí)現(xiàn)所述多層堆棧虛擬圖案中雙圖型分解要求層的雙圖型自我分解；

步驟(III)針對(duì)所述圖樣版圖中的主圖案進(jìn)行雙圖型分解；

步驟(IV)輸出分解后的版圖。