[發明專利]一種測試版圖中數字標記的設計方法有效
| 申請號： | 201410014345.2 | 申請日： | 2014-01-13 |
| 公開（公告）號： | CN104778287B | 公開（公告）日： | 2018-02-06 |
| 發明（設計）人： | 樊強 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市磐華律師事務所11336 | 代理人： | 董巍,高偉 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 測試 版圖 數字 標記 設計 方法 | ||
1.一種測試版圖中數字標記的設計方法，包括：
步驟(a)首先直接定義非關鍵層數字標記，其中所述非關鍵層數字標記具有較大的長度和寬度；
步驟(b)在所述非關鍵層數字標記區域中插入多個關鍵層的虛擬圖案，以形成可辨識的關鍵圖層數字標記。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述非關鍵層包括第一頂部金屬層和/或第二頂部金屬層；
所述關鍵層包括有源層、柵極層和內部金屬層。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟(b)包括以下子步驟：
步驟(b-1)在所述非關鍵層數字標記區域中填充有源層虛擬圖案，以形成可辨識的有源層數字標記；
步驟(b-2)在所述非關鍵層數字標記區域中填充柵極層虛擬圖案，以形成可辨識的柵極層數字標記；
步驟(b-3)在所述非關鍵層數字標記區域中填充內部金屬層虛擬圖案，以形成可辨識的內部金屬層數字標記。
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述有源層數字標記、所述柵極層數字標記、所述內部金屬層的數字標記和所述非關鍵層數字標記上下重疊對應，形成整體的可辨識的均勻的包括所有物理圖層的數字標記。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述非關鍵層數字標記的寬度以及長度設計要符合所述非關鍵層的設計規則。
6.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述有源層虛擬圖案選用所述有源層中常規虛擬圖案的尺寸，其最小尺寸要符合有源層的設計規則。
7.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述柵極層虛擬圖案選用所述柵極層中常規虛擬圖案的尺寸，其最小尺寸要符合柵極層的設計規則。
8.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述內部金屬層虛擬圖案選用所述內部金屬層中常規虛擬圖案的尺寸，其最小尺寸要符合內部金屬層的設計規則。
9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述非關鍵層數字標記的寬度和長度與所述關鍵圖層數字標記區域中虛擬圖案的寬度和長度的比為2:1-50:1。
10.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述非關鍵層數字標記選擇所在圖層標準電路設計的關鍵尺寸一致的長度以及寬度。
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