[發(fā)明專利]單島多電極石英加速度計(jì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410014008.3
• 申請(qǐng)日: 2014-01-14
• 公開（公告）號(hào): CN104777330B
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田文杰;樸林華;朱嘉林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京信息科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G01P15/09
• 分類號(hào): G01P15/09
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種單島多電極石英加速度計(jì)，由起支撐作用的底座(1)與外殼(2)由螺釘(9)緊密配合裝配成腔體，檢測(cè)用的敏感元件(3)用螺釘(10)安裝在底座 (1)上，電路板(5)由電路板支撐螺柱(6)支撐，并由電路板螺釘(7)緊固于敏感元件(3)上，航空插座(4)由螺釘(8)安裝在外殼(2)上，電源及信號(hào)由電纜從航空插座(4)進(jìn)出；敏感元件(3)由單島基座(11)、中央單島(14)、限位螺釘(12-1、12-2)、多電極力敏諧振器(13-1、13-2)及密封罩(16)構(gòu)成；

其敏感元件(3)的結(jié)構(gòu)特征是：單島基座(11)和密封罩(16)由密封螺釘(17)緊固構(gòu)成密封腔體，腔體內(nèi)有中央單島(14)及兩個(gè)多電極力敏諧振器(13-1、13-2)，單島基座(11)與中央單島(14)由一體加工而成，中央單島(14)將敏感元件的腔體分為對(duì)稱的左右兩個(gè)小腔體，兩個(gè)多電極力敏諧振器(13-1、13-2)對(duì)稱地鑲嵌在中央單島(14)兩側(cè)的兩個(gè)小腔體中，多電極力敏諧振器(13-1、13-2)的一邊與中央單島(14)中部的支撐平臺(tái)(14-2、14-3)焊接，另一邊與單島基座(11)中部的支撐平臺(tái)(11-1、11-2)焊接，單島基座(11)上部的左右兩端有限位螺釘(12-1、12-2)，限位螺釘(12-1、12-2)鑲嵌在單島基座(11)上部對(duì)應(yīng)的限位螺母孔(11-3、11-4)內(nèi)，并由緊定螺釘(15-1、15-2)緊定；

其敏感元件(3)的多電極力敏諧振器(13-1、13-2)的結(jié)構(gòu)特征是：多電極力敏諧振器(13-1、13-2)的基片為石英晶體圓薄片，同一個(gè)基片上的電極對(duì)數(shù)為兩對(duì)或兩對(duì)以上，電極位置在基片上的分布可以是對(duì)稱分布或非對(duì)稱分布。

2.如權(quán)利要求1所述的單島多電極石英加速度計(jì)，其敏感元件(3)的單島基座(11)及中央單島(14)的結(jié)構(gòu)特征是：單島基座(11)與中央單島(14) 由一體加工而成，中央單島(14)的下部與單島基座(11)的連接處(14-1)為柔性連接，中央單島(14)的中部左右兩側(cè)有鑲嵌多電極力敏諧振器(13-1、13-2)的對(duì)稱中央單島諧振器支撐平臺(tái)(14-2、14-3)，中央單島(14)的上部為慣性質(zhì)量塊(14-4)；單島基座(11)的底部有4個(gè)電機(jī)引線孔(11-5)、2個(gè)安裝螺母孔(11-6)、引線槽(11-7)，單島基座(11)的中部左右兩側(cè)有鑲嵌多電極力敏諧振器(13-1、13-2)的對(duì)稱支撐平臺(tái)(11-1、11-2)，單島基座(11)的上部左右兩側(cè)有安裝限位螺釘(12-1、12-2)的限位螺母孔(11-3、11-4)，單島基座(11)的左右兩側(cè)有安裝密封罩(16)的8個(gè)緊定螺母孔(11-8)。