[發明專利]一種自摻雜鈦酸鍶鐵電薄膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201410013760.6
• 申請日: 2014-01-13
• 公開（公告）號: CN103833352A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 王曉飛;胡秋波;李新忠;張超;王趙武
• 申請（專利權）人: 河南科技大學
• 主分類號: C04B35/47
• 分類號: C04B35/47;C04B35/622
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

1.一種自摻雜鈦酸鍶鐵電薄膜，其特征在于：由分子式為SrTi_1+xO₃的材料組成，其中，x的取值范圍為0.015~0.02，Sr和Ti的摩爾比為Sr：Ti=1：（1+x）。

2.根據權利要求1所述的一種自摻雜鈦酸鍶鐵電薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、按1:（1.015~1.02）：0.7的摩爾比分別稱取乙酸鍶、鈦酸丁脂和乙酰丙酮，備用；

步驟二、將步驟一稱取的乙酸鍶全部溶解于純度為99.5%的乙酸中，形成透明無色溶液后加入適量乙二醇甲醚，使溶液中乙酸鍶的摩爾濃度達到0.4mol/L，攪拌1h，形成溶液A，在溶液A中加入所稱取的鈦酸丁酯，攪拌30min，形成溶液B，備用；

步驟三、將步驟一稱取的乙酰丙酮加入到溶液B中，再添加適量乙二醇甲醚將溶液B稀釋至乙酸鍶的摩爾濃度達到0.3mol/L，再攪拌6~8小時，過濾得溶液C，備用；

步驟四、將步驟三制備的溶液C滴在放置在甩膠機中的潔凈的鍍鉑硅襯底上，設置甩膠機的甩膠速度為3500?rpm，甩膠時間為30s，制得SrTi_1+xO₃濕膜，將制得的SrTi_1+xO₃濕膜在200℃下烘干5min后，在350℃下進行熱分解5min，制得SrTi_1+xO₃干膜，在制得的SrTi_1+xO₃干膜上繼續滴加溶液C，并依次重復上述甩膠、烘干和熱分解過程，直至SrTi_1+xO₃干膜厚度達到300nm，然后在700-750℃的管式爐中、氮氣氣氛下退火50~60min，得到SrTi_1+xO₃薄膜。

3.根據權利要求2所述的一種自摻雜鈦酸鍶鐵電薄膜的制備方法，其特征在于：步驟三所形成的溶液C中乙酸和乙二醇甲醚的體積比為2：3。