[發明專利]微橋結構紅外探測器及其制造方法

有效

• 申請號: 201410013619.6
• 申請日: 2014-01-13
• 公開（公告）號: CN103759838A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: 錢良山;孟如男;王景道;池積光;姜利軍
• 申請（專利權）人: 浙江大立科技股份有限公司
• 主分類號: G01J5/10
• 分類號: G01J5/10;B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 孫佳胤

1.一種微橋結構紅外探測器，其特征在于，包括：

襯底，所述襯底的上表面設置有電極；

橋腿，所述橋腿采用導電材料制成，所述橋腿支撐設置于所述襯底上方，支撐點位于所述襯底上表面的電極處，從而與所述電極電學連接；

熱敏感層，所述熱敏感層設置于所述橋腿上方，并通過設置在所述熱敏感層通孔中的電連接支架支撐設置于所述橋腿的表面，所述電連接支架用于所述熱敏感層與所述橋腿進而與所述電極的電學連接；

紅外反射層，所述紅外反射層設置于所述橋腿與所述熱敏感層之間，并通過介質層與所述熱敏感層懸空部分的下表面貼合；

紅外吸收層，所述紅外吸收層支撐設置于所述熱敏感層的表面，吸收入射紅外光，轉化成熱量傳導至所述熱敏感層，所述紅外吸收層進一步與所述紅外反射層形成針對入射紅外光的諧振腔。

2.根據權利要求1所述的微橋結構紅外探測器，其特征在于，所述橋腿的本體部分處于一與襯底平行的第一平面內，并通過自彎折形成的支架支撐設置于所述電極的表面。

3.根據權利要求1所述的微橋結構紅外探測器，其特征在于，所述熱敏感層和電連接支架的本體部分處于一與襯底平行第二平面內，所述電連接支架進一步通過自彎折形成的支架支撐設置于所述橋腿的表面。

4.根據權利要求1所述的微橋結構紅外探測器，其特征在于，所述紅外吸收層的本體部分處于一與襯底平行第三平面內，并通過自彎折形成的支架支撐設置于所述熱敏感層的表面。

5.根據權利要求1所述的微橋結構紅外探測器，其特征在于，所述襯底、橋腿、熱敏感層以及紅外吸收層的表面進一步具有覆蓋層。

6.根據權利要求1所述的微橋結構紅外探測器，其特征在于，所述橋腿的材料選自于鈦、氮化鈦和鉭中的任意一種。

7.根據權利要求1所述的微橋結構紅外探測器，其特征在于，所述熱敏感層的材料選自于非晶硅和氧化釩中的任意一種。

8.根據權利要求1所述的微橋結構紅外探測器，其特征在于，所述電連接支架的材料選自于鈦、鉭、鎳、鉻、氮化鈦、以及鎳鉻合金中的任意一種。

9.根據權利要求1所述的微橋結構紅外探測器，其特征在于，所述紅外反射層的材料選自于鋁、銀和金中的任意一種。

10.根據權利要求1所述的微橋結構紅外探測器，其特征在于，所述紅外吸收層的材料選自于氮化鈦和鎳鉻合金中的任意一種。

11.一種微橋結構紅外探測器的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供襯底，所述襯底的表面內設置有電極；

在襯底表面制作橋腿，所述橋腿的懸空部分通過第一犧牲層與所述襯底之間分離；

在橋腿表面制作圖形化的紅外反射層，所述紅外反射層通過第二犧牲層與所述橋腿之間分離；

在所述紅外反射層的表面制作介質層；

在所述介質層表面制作熱敏感層以及與熱敏感層連接的電連接支架，所述電連接支架形成于所述熱敏感層內的通孔中，穿過所述圖形化的紅外反射層的間隙以及介質層，支撐設置于所述橋腿的表面；

在所述熱敏感層的表面制作紅外吸收層，所述紅外吸收層的懸空部分通過第三犧牲層與所述熱敏感層之間分離；

去除所述第一犧牲層、第二犧牲層和第三犧牲層，從而使橋腿、紅外反射層、熱敏感層、以及紅外吸收層部分懸空，并且所述紅外吸收層與所述紅外反射層形成針對入射紅外光的諧振腔。

12.根據權利要求11所述的微橋結構紅外探測器的制作方法，其特征在于，所述橋腿的本體部分處于一與襯底平行的第一平面內，并通過自彎折形成的支架支撐設置于所述電極的表面。

13.根據權利要求11所述的微橋結構紅外探測器的制作方法，其特征在于，所述熱敏感層和電連接支架的本體部分處于一與襯底平行第二平面內，所述電連接支架進一步通過自彎折形成的支架支撐設置于所述橋腿的表面。

14.根據權利要求11所述的微橋結構紅外探測器的制作方法，其特征在于，所述紅外吸收層的本體部分處于一與襯底平行第三平面內，并通過自彎折形成的支架支撐設置于所述熱敏感層的表面。