[發明專利]風機過濾單元

在審

• 申請號: 201410010252.2
• 申請日: 2014-01-09
• 公開（公告）號: CN103711734A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 宋新豐;王麗榮
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F04D29/70
• 分類號: F04D29/70;F04D29/66;F04D29/42
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陶金龍

技術領域

本發明涉及半導體設備領域，具體是涉及一種用于凈化/無塵/潔凈室氣體的風機過濾單元。

背景技術

半導體立式爐設備是集成電路裝備的一種，可用于集成電路制造工藝過程中的氧化、退火、化學氣相淀積等工藝過程。由于硅片的制造有極高的外界環境要求，尤其是隨著集成電路制造工藝的更新換代，要求立式爐設備內部微環境滿足一級潔凈室的高潔凈度和均勻的水平流場等要求。

風機過濾單元（FFU）是將風機和過濾器組合在一起，風機由FFU空腔將空氣吸入并經過過濾器，從而形成潔凈的均勻氣流。FFU廣泛應用于半導體生產商的潔凈室，可為潔凈室提供較為穩定的潔凈氣流。但現有FFU的風機位于FFU空腔內部，且目前市場中廣泛應用的風機尺寸較大，極大地占用了空腔空間，導致FFU整體厚度方向尺寸過大。

半導體立式爐設備微環境為密閉空間，通過風機過濾單元將內部氣流循環交替，最終為微環境提供穩定的、高潔凈度的、均勻的水平氣流。由于半導體立式爐設備結構的特點，一方面半導體立式爐設備在厚度方向給FFU提供的空間尺寸有限；另一方面又要求過濾器提供較高過濾效率，而過濾效率要求越高，過濾器的濾芯就越厚，占用空腔空間就越大。因此，目前應用的FFU結構不能滿足半導體立式爐設備對空間的要求。

因此，在半導體立式爐設備本身的有限的空間內，如何充分的利用半導體立式爐設備中空腔的空間成為本領域技術人員亟待解決的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種風機過濾單元，使半導體立式爐設備中空腔的空間得到最大利用。

本發明為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供一種風機過濾單元，安裝在半導體立式爐設備的側壁上，包括：

殼體,所述殼體為長方體中空結構，殼體的正面開設有出風口；

第一過濾器,用于過濾氣流中的顆粒物，所述第一過濾器固定安裝在殼體的出風口處，所述出風口的尺寸與第一過濾器尺寸相匹配；以及

空腔,所述第一過濾器與所述殼體之間設有供氣流通過的空腔；

所述殼體的底部設有凸出的離心風機安裝位，所述離心風機安裝位上設有離心風機，靠近離心風機進氣端的殼體底部設有進氣口，所述進氣口將半導體立式爐設備內的氣流吸入，經過離心風機并排送氣體至空腔，經第一過濾器過濾后，提供氣流至半導體立式爐設備內部。

優選的，所述第一過濾器與所述殼體之間通過階梯狀的支撐骨架固定連接，所述支撐骨架包括第一凸臺和第二凸臺，所述第一凸臺的長度與所述第一過濾器的厚度相匹配。

優選的，所述第一過濾器與所述殼體之間還設有第二過濾器，所述第二過濾器安裝在所述支撐骨架的第二凸臺上，所述第二凸臺的長度與所述第二過濾器的厚度相匹配。

優選的，所述第一過濾器與支撐骨架之間設有密封墊。

優選的，所述密封墊為柔性件。

優選的，所述第一過濾器的出風側固定連接至少一塊均流板，所述均流板上設有若干個供氣流通過的通孔。

優選的，所述離心風機與所述殼體之間設有減震裝置。

優選的，所述減震裝置包括安裝板和減震墊，所述安裝板和減震墊上均設有與離心風機出風口相匹配的通孔，所述離心風機的出風口處依次固定連接安裝板及減震墊。

優選的，所述空腔的頂部設有至少一個用于向空腔補充潔凈的氣流的補氣進氣口。

優選的，所述進氣口末端固定連接用于降低氣流噪音的消音器。

本發明的優勢在于：

1.本發明通過所述殼體的底部設有離心風機安裝位，所述離心風機安裝在殼體底部的離心風機安裝位上，從而不占用空腔的空間，從而使FFU的空腔空間得到最大的利用。

2.本發明采用雙過濾器結構，提高了氣流的潔凈度，進而提高了過濾器的過濾效率。

3.本發明通過所述第一過濾器與支撐骨架之間設有密封墊，提高風機過濾單元的密封性。

4.本發明在所述過濾器的出風側設有均流板，使FFU均流效果更好。

5.本發明通過在離心風機上增設減震裝置，減小風機振動對FFU的影響。

6.本發明通過在FFU空腔的上方設計一個潔凈氣體的進氣口，用于向設備微環境補充潔凈的氣流；進氣口末端設計消音裝置，從而降低高速氣流產生的噪音。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。