[發明專利]一種復合式波前校正器

在審

• 申請號: 201410010120.X
• 申請日: 2014-01-09
• 公開（公告）號: CN103744177A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 薛麗霞;張小軍;官春林
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 孟卜娟

1.一種復合式波前校正器，可同時校正低階傾斜波像差和其它高階波像差，其特征在于由底座（1）、傾斜結構、連接結構（5）、變形鏡（6）和支撐結構（2）組成，傾斜結構一端固定在底座上，另一端通過柔性鉸鏈（4）與連接結構（5）相連，變形鏡（6）整體固定在連接結構（5）內，變形鏡（6）鏡面的中心與傾斜結構的轉動中心重合；支撐結構（2）的一端固定在底座（1）上，另一端支撐在連接結構（5）的底部。

2.根據權利要求1所述的一種復合式波前校正器，其特征在于：所述的傾斜結構，由四個微驅動部件（3）組成，對稱分布固定在底座（1）上，提供二維的傾斜輸出和支撐剛度。

3.根據權利要求2所述的一種復合式波前校正器，其特征在于：所述的微驅動部件，可以是壓電陶瓷（PZT）驅動器，也可以是電致伸縮（PMN）驅動器，也可以是力驅動器。

4.根據權利要求3所述的一種復合式波前校正器，其特征在于：所述的力驅動器包括音圈電機。

5.根據權利要求3所述的一種復合式波前校正器，其特征在于：將一個壓電陶瓷驅動器作為一個所述的微驅動部件（3），其上部與柔性鉸鏈（4）連接形成一個驅動單元，驅動單元固定在底座（1）上，形成4點對稱的二維傾斜結構，確保其上端面位于同一水平面；同時將變形鏡（6）固定在連接結構（5）的中孔底部；然后將支撐結構（2）通過螺紋固定在底座（1）上，上端支撐在連接結構（5）的底部，最后緊固連接結構（5）與柔性鉸鏈（4）的連接，將變形鏡（6）的導線和驅動單元（7）的導線通過底座（1）的孔引出。