[發(fā)明專利]微機電裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410009937.5 | 申請日： | 2014-01-09 |
| 公開（公告）號： | CN103910323B | 公開（公告）日： | 2017-04-12 |
| 發(fā)明（設計）人： | 劉茂誠;周文介;呂柏緯;翁淑怡;王竣杰 | 申請（專利權）人： | 先技股份有限公司 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產權代理有限公司11006 | 代理人： | 梁揮,祁建國 |
| 地址： | 中國臺灣臺北市*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 裝置 | ||
1.一種微機電裝置，其特征在于，包含：
一基板，包含多個第一電極、多個第二電極、一第一區(qū)、一第二區(qū)及一蝕刻區(qū)，該蝕刻區(qū)位于該基板的中央，該第一區(qū)與該第二區(qū)相對，該些第一電極等距地位于該第一區(qū)，該些第二電極等距地位于該第二區(qū)；
一質量塊，設置于該蝕刻區(qū)的中央，該質量塊包含多個第三電極、多個第四電極、一第一側邊及一第二側邊，該第一側邊與該第二側邊相對，該些第三電極等距地位于該第一側邊，該些第四電極等距地位于該第二側邊；以及
多個懸臂，分別設置于該基板的周圍與該質量塊的周圍之間，該些懸臂用以支撐該質量塊，使該質量塊與該基板相隔一第一距離；
其中每一該第一電極平行于一軸向且沿該軸向自該第一區(qū)朝該第一側邊延伸出一第二距離，每一該第三電極平行于該軸向且沿該軸向自該第一側邊朝該第一區(qū)延伸出一第三距離，該些第一電極與該些第三電極交叉相對，該第二距離和該第三距離大于一半的該第一距離且不大于該第一距離；
其中每一該第二電極平行于該軸向且沿該軸向自該第二區(qū)朝該第二側邊延伸出該第二距離，每一該第四電極平行于該軸向且沿該軸向自該第二側邊朝該第二區(qū)延伸出該第三距離，該些第二電極與該些第三電極交叉相對。
2.如權利要求1所述的微機電裝置，其特征在于，該基板的材料為硅。
3.如權利要求1所述的微機電裝置，其特征在于，該質量塊為二氧化硅。
4.如權利要求3所述的微機電裝置，其特征在于，該質量塊的熱膨脹系數(shù)為0.5ppm/℃。
5.如權利要求4所述的微機電裝置，其特征在于，該質量塊更包含一連接層，該連接層的材料為鎢。
6.如如權利要求5所述的微機電裝置，其特征在于，該連接層的熱膨脹系數(shù)為4ppm/℃。
7.如權利要求1所述的微機電裝置，其特征在于，該質量塊的熱膨脹系數(shù)為3ppm/℃。
8.如權利要求7所述的微機電裝置，其特征在于，該質量塊更包含一披覆層，該披覆層的材料為金屬或氧化物。
9.如權利要求8所述的微機電裝置，其特征在于，該披覆層的熱膨脹系數(shù)為0.5ppm/℃。
10.如權利要求1所述的微機電裝置，其特征在于，該些懸臂的材料為金屬。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于先技股份有限公司，未經先技股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410009937.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
