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[發明專利]一種用于立式氧化爐濕氧工藝中工藝門的冷卻方法和裝置有效

專利信息
申請號: 201410009302.5 申請日: 2014-01-09
公開(公告)號: CN103727778A 公開(公告)日: 2014-04-16
發明(設計)人: 林偉華;宋辰龍;蘭天;王兵 申請(專利權)人: 北京七星華創電子股份有限公司
主分類號: F27B1/24 分類號: F27B1/24;F27B1/26;F27B1/28;F27D1/18
代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吳世華;陶金龍
地址: 100016 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 立式 氧化 爐濕氧 工藝 冷卻 方法 裝置
【權利要求書】:

1.一種用于立式氧化爐濕氧工藝中工藝門的冷卻方法,由工藝控制系統控制濕氧工藝制程,所述工藝門裝有密封部件,所述工藝門和氧化爐爐體底部裝有溫度檢測熱偶和冷卻水管路,所述冷卻水管路裝有流量控制器,其特征在于,包括以下步驟:

根據所述熱偶溫度檢測結果,控制所述流量控制器調整循環冷卻水流量大小與所述溫度結果高低相適配;其中,濕氧工藝溫度低時調低冷卻水流量,濕氧工藝溫度高時調高冷卻水流量。

2.如權利要求1所述的冷卻方法,其特征在于,所述控制所述流量控制器調整循環冷卻水流量大小與所述溫度結果高低相適配的步驟,具體包括:

步驟一:根據濕氧工藝結果要求,按照主工藝溫度不同,將濕氧工藝分為高溫、中溫、低溫三個不同的溫度區間;

步驟二:根據所述高溫、中溫、低溫三個不同的溫度區間,設定高溫、中溫、低溫濕氧工藝溫度時由大而小具有不同流量范圍的工藝門和爐體底部冷卻水管路的循環冷卻水流量;

步驟三:打開循環冷卻水管路流量控制器,向工藝門和爐體底部的冷卻水管路通入設定流量范圍內的循環冷卻水;

步驟四:打開工藝控制系統,按照設定的溫度、時間、氣體流量等相關工藝參數制程,進行工藝;

步驟五:在進行工藝時,用熱偶對工藝門和爐體底部的溫度進行檢測,并根據檢測溫度的高低,通過流量控制器調整高溫、中溫、低溫濕氧工藝溫度區間相應循環冷卻水流量范圍內流量的大小。

3.如權利要求2所述的冷卻方法,其特征在于,步驟一中,所述高溫濕氧工藝溫度的區間為801~1000℃,所述中溫濕氧工藝溫度的區間為601~800℃,以及所述低溫濕氧工藝溫度的區間為400~600℃。

4.如權利要求1所述的冷卻方法,其特征在于,所述循環冷卻水的進水溫度為20~25℃。

5.如權利要求2所述的冷卻方法,其特征在于,步驟二中,所述高溫濕氧工藝溫度時的循環冷卻水流量為2~3L/min;所述中溫濕氧工藝溫度時的循環冷卻水流量為1~2L/min;所述低溫濕氧工藝溫度時的循環冷卻水流量為0.1~1L/min。

6.如權利要求2所述的冷卻方法,其特征在于,在步驟五中,如果熱偶對工藝門和爐體底部的檢測溫度結果超過工藝門密封部件的耐溫極限溫度,且循環冷卻水流量已達到相應濕氧工藝溫度區間設定流量的上限時,按其流量上限值的2~3倍通入循環冷卻水。

7.如權利要求2所述的冷卻方法,其特征在于,在步驟五中,還包括:當熱偶對工藝門和爐體底部的檢測溫度結果為處于所述低溫濕氧工藝溫度區間時,判斷當前循環冷卻水流量是否低于循環冷卻水流量的最低閾值,如果是,按低溫濕氧工藝溫度區間設定流量的下限通入循環冷卻水。

8.一種用于立式氧化爐濕氧工藝中工藝門的冷卻方法的裝置,所述工藝門和氧化爐爐體底部裝有溫度檢測熱偶和冷卻水管路,所述冷卻水管路裝有流量控制器,其特征在于,還包括控制模塊,分別與溫度檢測熱偶和冷卻水管路上安裝的流量控制器電連接;

其中,所述控制模塊包括切換單元,其根據所述熱偶溫度檢測結果,控制所述流量控制器調整循環冷卻水流量大小與所述溫度結果高低相適配;

其中,濕氧工藝溫度低時調低冷卻水流量,濕氧工藝溫度高時調高冷卻水流量。

9.如權利要求8所述的裝置,其特征在于,所述控制模塊還設有報警單元,用于判斷工藝門和爐體底部溫度的檢測值超出控制溫度的上下限閾值,并通過切換單元調整相應循環冷卻水的流量;其中,如果熱偶對工藝門和爐體底部的檢測溫度結果超過工藝門密封部件的耐溫極限溫度,且循環冷卻水流量已達到相應濕氧工藝溫度區間設定流量的上限時,按其流量上限值的2~3倍通入循環冷卻水;當熱偶對工藝門和爐體底部的檢測溫度結果為處于所述低溫濕氧工藝溫度區間時,判斷當前循環冷卻水流量是否低于循環冷卻水流量的最低閾值,如果是,按低溫濕氧工藝溫度區間設定流量的下限通入循環冷卻水。

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