[發(fā)明專利]光刻膠的制備裝置及制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410008784.2 | 申請日： | 2014-01-08 |
| 公開（公告）號： | CN103728838A | 公開（公告）日： | 2014-04-16 |
| 發(fā)明（設計）人： | 石洪菲;周岳亮;王燦;金奎娟;楊國楨 | 申請（專利權）人： | 中國科學院物理研究所 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京泛華偉業(yè)知識產權代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 制備 裝置 方法 | ||
1.一種光刻膠的制備裝置，其特征在于，包括：
金屬納米顆粒產生設備，用于產生金屬納米顆粒；
回收設備，用于收集所述金屬納米顆粒并將其分散在液體中。
2.根據權利要求1所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述金屬納米顆粒產生設備包括金屬板和激光器，所述金屬板的上表面用于接收所述激光器發(fā)射的激光并產生金屬納米顆粒。
3.根據權利要求2所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述金屬納米顆粒產生設備還包括會聚透鏡，所述會聚透鏡用于會聚所述激光器發(fā)射的激光，且所述金屬板位于所述會聚透鏡的焦平面處。
4.根據權利要求2或3所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述回收設備包括：
具有開口的容器，所述容器用于盛裝包含有所述金屬納米顆粒的液體，所述金屬板位于所述容器的開口的上方；以及
回流設備，用于將包含有所述金屬納米顆粒的液體輸送至所述金屬板的上表面。
5.根據權利要求4所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述回流設備包括回流導管、出流導管和泵，所述出流導管的一端與所述容器中的包含有所述金屬納米顆粒的液體相接觸，所述回流導管的一端位于所述金屬板的上表面的上方，所述泵用于通過所述出流導管將所述容器中的包含有所述金屬納米顆粒的液體抽出并通過所述回流導管輸送至所述金屬板的上表面。
6.根據權利要求2或3所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述金屬板的材質為純度不小于99.99%的銀或金。
7.一種基于權利要求1所述的光刻膠的制備裝置的制備方法，其特征在于，包括下列步驟：
（1）通過所述金屬納米顆粒產生設備產生金屬納米顆粒；
（2）通過所述回收設備將所述金屬納米顆粒分散在液體中。
8.根據權利要求7所述的制備方法，其特征在于，所述金屬納米顆粒產生設備包括金屬板和激光器，在所述步驟（1）中，所述激光器將發(fā)射的激光入射到所述金屬板的上表面并產生金屬納米顆粒。
9.根據權利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述金屬納米顆粒產生設備還包括會聚透鏡，所述金屬板位于所述會聚透鏡的焦平面處，在所述步驟（1）中，將所述激光經過所述會聚透鏡聚焦后入射到所述金屬板的上表面。
10.根據權利要求8或9所述的制備方法，其特征在于，所述回收設備包括：具有開口的容器，所述容器用于盛裝包含有所述金屬納米顆粒的液體，所述金屬板位于所述容器的開口的上方；以及回流設備，用于將包含有所述金屬納米顆粒的液體輸送至所述金屬板的上表面；
在所述步驟（2）中，還包括調節(jié)所述回流設備的輸出功率和/或所述金屬板與水平面的夾角，使得所述金屬板的上表面的液體的厚度恒定且使得所述厚度為1微米～5厘米。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院物理研究所，未經中國科學院物理研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410008784.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：外部供電系統(tǒng)
- 下一篇：車載充電系統(tǒng)及其控制方法
