[發明專利]一種大行程兩平動一轉動精密定位平臺

有效

• 申請號: 201410008229.X
• 申請日: 2014-01-03
• 公開（公告）號: CN103714865A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 蔡坤海;田延嶺;張大衛
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 張金亭

1.一種大行程兩平動一轉動精密定位平臺，其特征在于，包括基座和設置在其內部的動平臺，所述基座和所述動平臺通過三個沿所述動平臺的周向均布的鉸鏈放大機構和三個復合平行板柔性導向機構連接；

每個所述鉸鏈放大機構的一端與所述基座柔性連接，另一端和所述動平臺柔性連接，中部設有一輸入端，鉸鏈放大機構的輸入端通過柔性鉸鏈和球型接頭與壓電陶瓷驅動器連接，所述壓電陶瓷驅動器安裝在所述基座上，所述壓電陶瓷驅動器沿所述動平臺的徑向設置，在所述壓電陶瓷驅動器的輸出端上固接有所述球型接頭，所述球型接頭與所述柔性鉸鏈相切接觸，所述柔性鉸鏈固定在所述鉸鏈放大機構的輸入端上；

每個所述復合平行板柔性導向機構包括相互平行的8塊柔性板和沿動平臺周向布置的4塊剛體塊，4塊所述剛體塊由第一剛體塊、第二剛體塊、第三剛體塊和第四剛體塊組成，其中所述第三剛體塊和所述第四剛體塊距離所述動平臺最近，且二者位于同一圓周上，所述第一剛體塊距離所述動平臺最遠，所述第二剛體塊位于所述第一剛體塊與所述第三剛體塊和所述第四剛體之間；8塊所述柔性板以所述動平臺的徑向為對稱軸對稱布置，8塊所述柔性板包括2塊中間板和2塊側板，在對稱軸同側的所述中間板和所述側板之間設有2塊所述柔性板，一塊是靠近所述側板的第二邊板，另一塊是靠近所述中間板的第一邊板，2塊所述中間板的內端均與所述動平臺連接，2塊所述中間板的外端均與所述第二剛體塊連接，所述第一邊板和所述第二邊板的內端通過所述第三剛體塊連接，所述第一邊板的外端與所述第二剛體塊連接，所述第二邊板的外端與所述第一剛體塊連接，所述側板的內端與所述基座連接，所述側板的外端與所述第一剛體塊連接；

三個所述復合平行板柔性導向機構和三個所述壓電陶瓷驅動器間隔均布在所述動平臺的周向上。

2.根據權利要求1所述的大行程兩平動一轉動精密定位平臺，其特征在于，所述動平臺為圓盤形。

3.根據權利要求1所述的三自由度精密定位平臺，其特征在于，在所述基座上設有定位孔。