[發明專利]一種三自由度精密定位平臺

有效

• 申請號: 201410008167.2
• 申請日: 2014-01-03
• 公開（公告）號: CN103727364A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 蔡坤海;田延嶺;張大衛
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: F16M11/08
• 分類號: F16M11/08;F16M11/18;G12B5/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 張金亭

1.一種三自由度精密定位平臺，其特征在于，包括基座和設置在其內部的動平臺，所述基座和所述動平臺通過三個沿所述動平臺的周向均布的鉸鏈放大機構和三個板形柔性鉸鏈機構連接；

每個所述鉸鏈放大機構的一端與所述基座柔性連接，另一端和所述動平臺柔性連接，中部設有一輸入端，鉸鏈放大機構的輸入端通過柔性鉸鏈和球型接頭與壓電陶瓷驅動器連接，所述壓電陶瓷驅動器安裝在所述基座上，所述壓電陶瓷驅動器沿所述動平臺的徑向設置，在所述壓電陶瓷驅動器的輸出端上固接有所述球型接頭，所述球型接頭與所述柔性鉸鏈相切接觸，所述柔性鉸鏈固定在所述鉸鏈放大機構的輸入端上；

每個所述板形柔性鉸鏈機構包括一塊弧形柔性板和垂直固定在其上的1～5塊徑向柔性板，所述弧形柔性板沿所述動平臺的周向設置，所述弧形柔性板的兩端固定在所述基座上，所述徑向柔性板的內端固定在所述動平臺上；

三個所述板形柔性鉸鏈機構和三個所述壓電陶瓷驅動器間隔均布在所述動平臺的周向上。

2.根據權利要求1所述的三自由度精密定位平臺，其特征在于，所述動平臺為圓盤形。

3.根據權利要求1所述的三自由度精密定位平臺，其特征在于，每塊所述弧形柔性板上固定有2～3塊均布的所述徑向柔性板。

4.根據權利要求1所述的三自由度精密定位平臺，其特征在于，在所述基座上設有定位孔。