[發明專利]光照射裝置

在審

• 申請號: 201410007906.6
• 申請日: 2014-01-07
• 公開（公告）號: CN103943536A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 千賀岳人
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B7/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種光照射裝置，具備：

準分子燈，在封入了發光氣體的發光管的上下外表面上配置一對外部電極而成；以及

外殼，收容該準分子燈并且在下方設置有光取出開口，

所述一對外部電極中的、與被處理體對置的下方的外部電極被施加低電壓，上方的外部電極被施加高電壓，

該光照射裝置的特征在于，

在所述外殼的光取出開口上，在所述高壓側的外部電極與被處理體之間且沿著所述準分子燈的長度方向的位置，具備電場遮蔽部件，該電場遮蔽部件對在所述高壓側的外部電極與所述低壓側的外部電極之間形成的電場進行遮蔽。

2.如權利要求1所述的光照射裝置，其特征在于，

所述電場遮蔽部件與所述外殼電連接，并經由該外殼接地。

3.如權利要求1或2所述的光照射裝置，其特征在于，

在所述外殼內，具備供給惰性氣體的氣體供給單元，

所述電場遮蔽部件具備通風孔，該通風孔使所述惰性氣體朝向所述被處理體流出。