[發明專利]釔系高溫超導薄膜的制備方法

有效

• 申請號: 201410007411.3
• 申請日: 2014-01-06
• 公開（公告）號: CN103771852A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 陳源清;李蒙娟;閻芳園;張衛華
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: C04B35/45
• 分類號: C04B35/45;C04B35/622
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 李娜

1.釔系高溫超導薄膜的制備方法，其特征在于，具體按照以下步驟實施：

步驟1，采用釔系超導薄膜用前驅溶液制備凝膠薄膜，然后將凝膠薄膜干燥，得到凝膠干膜；

步驟2，將步驟1得到的凝膠干膜轉入石英管式爐中進行熱分解；

步驟3，對經過步驟2處理的凝膠干膜通入干氮氣，溫度升至600～650℃時將氣氛切換成H₂O/H₂O₂/N₂混合氣氛或H₂O/H₂O₂/Ar混合氣氛后升溫至740～790℃保溫，然后將氣氛切換成干氮氣保溫后冷卻，當溫度降至400～500℃后將氣氛切換成干氧氣并保溫，最后冷卻至室溫后將氣氛關閉，即得到釔系高溫超導薄膜。

2.根據權利要求1所述的釔系高溫超導薄膜的制備方法，其特征在于，步驟1中凝膠薄膜的制備過程為：將釔系超導薄膜用前驅溶液結合浸漬提拉、旋轉涂覆或噴墨打印法在鋁酸鑭、鈦酸鍶單晶基片或帶有緩沖層的NiW合金帶材上制備得到凝膠薄膜；凝膠薄膜的干燥是在空氣下，低于100℃下干燥5～20min。

3.根據權利要求1或2所述的釔系高溫超導薄膜的制備方法，其特征在于，所述釔系超導薄膜用前驅溶液中金屬離子摩爾比RE：Ba²⁺：Cu²⁺=1-1.3：2：3-3.6，其中，RE為Y，Gd，Dy，Ho中的一種或兩種。

4.根據權利要求1所述的釔系高溫超導薄膜的制備方法，其特征在于，步驟2中熱分解的具體實施過程為：向石英管式爐中通入H₂O/O₂混合氣氛或O₂/H₂O/H₂O₂混合氣氛，并以2～10℃/min的速率升溫至400～500℃，保溫5～10min后隨爐冷卻至室溫。

5.根據權利要求1所述的釔系高溫超導薄膜的制備方法，其特征在于，步驟3的具體實施過程為：將經過步驟2處理的凝膠干膜通入干氮氣30min后以15～25℃/min的速率升溫至600～650℃時將氣氛切換成H₂O/H₂O₂/N₂混合氣氛或H₂O/H₂O₂/Ar混合氣氛，繼續升溫至740～790℃后保溫1～2h，然后將氣氛切換成干氮氣并保溫10～30min后隨爐冷卻至400～500℃后將氣氛切換成干氧氣并保溫2～4h，最后隨爐冷卻至室溫后將氣氛關閉，即可。