[發明專利]一種光柵取樣參數檢測裝置

有效

• 申請號: 201410007108.3
• 申請日: 2014-01-08
• 公開（公告）號: CN103674498A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 劉旭;陳波;達爭尚;任寰;劉勇;姜宏振;柴立群;楊曉瑜;彭志濤;楊一
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 中國工程物理研究院專利中心 51210
• 代理人: 翟長明

1.一種光柵取樣參數檢測裝置，其特征在于：所述檢測裝置中的激光器（1）發出的測量光束被反射棱鏡（2）反射至小口徑匯聚透鏡（3），然后會聚于濾光孔（4），經過濾光孔后形成球面點光源，然后入射至光柵（5），透過光柵的測量光束被大口徑匯聚透鏡（6）準直后經過軟邊光闌（7）再垂直入射至平面鏡（8），被平面鏡(8)反射的測量光按原路返回至光柵(5)刻蝕面，再經光柵(5)刻蝕面衍射得到“零級”和“一級”衍射光，其中，“零級”光被取樣鏡I（11）和取樣鏡II（12）取樣后入射至功率計I(13)，“一級”衍射光直接入射至固定在光柵尺（14）上的功率計II(15)，可利用焦斑顯微系統(10)觀察“一級”衍射光焦斑狀態，通過控制數據實時采集系統分別接收“零級”和“一級”衍射點的光束能量和位置，通過計算得到各取樣參數的測量值。

2.根據權利要求1所述的光柵取樣參數檢測裝置，其特征在于：所述激光器(1)輸出光束波長為351nm。

3.根據權利要求1所述的光柵取樣參數檢測裝置，其特征在于：所述的軟邊光闌(7)安裝于二維平移機構(16)上，二維平移機構(16)的移動方向與平面反射鏡(8)?平行。

4.根據權利要求1所述的光柵取樣參數檢測裝置，其特征在于：所述的取樣鏡I（11）和取樣鏡II（12）的反射率均為4%；小口徑匯聚透鏡（3）和大口徑匯聚透鏡（6）的透射率均大于80%。