[發(fā)明專利]原位樣品桿中基片供電電源、光-電雙功能基片及其制法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410003661.X
• 申請日: 2014-01-03
• 公開（公告）號: CN103730313A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳幸;孫立濤;董輝;張師斌;韓海霞;楊力
• 申請（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/244
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種透射電子顯微鏡原位樣品桿的基片供電電源，其特征在于：包括輸入模塊、主控MCU和穩(wěn)壓模塊，所述輸入模塊用于設(shè)定電壓輸出模式和工作參數(shù)，所述主控MCU根據(jù)電壓輸出模式和工作參數(shù)產(chǎn)生使能信號，所述穩(wěn)壓模塊根據(jù)使能信號對輸入電壓進(jìn)行轉(zhuǎn)換，產(chǎn)生滿足電壓輸出模式和工作參數(shù)要求的輸出電壓，作為基片供電電源的輸出電壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡原位樣品桿的基片供電電源，其特征在于：所述主控MCU采用MSP430F2618芯片實(shí)現(xiàn)，所述穩(wěn)壓模塊采用超低壓差線性穩(wěn)壓芯片TPS7A7001實(shí)現(xiàn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡原位樣品桿的基片供電電源，其特征在于：所述輸入模塊為4*4鍵盤。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡原位樣品桿的基片供電電源，其特征在于：所述穩(wěn)壓模塊通過可調(diào)電阻調(diào)節(jié)輸出電壓的大小。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡原位樣品桿的基片供電電源，其特征在于：還包括顯示模塊，所述顯示模塊用于顯示電壓輸出模式和工作參數(shù)。

6.一種透射電子顯微鏡原位樣品桿的基片，其特征在于：包括藍(lán)寶石襯底（5），在藍(lán)寶石襯底（5）上焊接有兩片0402LED貼片（4）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的透射電子顯微鏡原位樣品桿的基片，其特征在于：所述藍(lán)寶石襯底（1）為長方形薄片，以長方形薄片的縱橫方向中心面為隔離面，將藍(lán)寶石襯底（1）均分為形狀大小一致的四個區(qū)，在每個區(qū)的正反兩面均設(shè)置一個電極（2），在每個區(qū)的中部均設(shè)置一個金屬孔，所述金屬孔電連接所在區(qū)正反兩面的電極（2）；所述一片0402LED貼片（4）的兩個引腳焊接在長方形薄片上表面兩個相鄰的電極（2）上，所述兩片0402LED貼片（4）焊接在長方形薄片上表面其中三個電極（2）上，僅位于中間的一個電極（2）為兩片0402LED貼片（4）共用；在長方形薄片下表面的每個電極（2）上設(shè)置金屬端子，所述金屬端子作為0402LED貼片（4）的電源接入線和樣品的特性測量端。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的透射電鏡原位樣品桿中光-電雙功能基片，其特征在于：所述兩片0402LED貼片（4）的波長不一致。

9.一種透射電子顯微鏡原位樣品桿的基片的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

（1）首先切割出藍(lán)寶石襯底，然后在藍(lán)寶石襯底上打孔；

（2）對步驟（1）制作出的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行打磨、清洗和干燥；

（3）在步驟（2）制作出的藍(lán)寶襯底的正反兩面貼隔離錫紙，將藍(lán)寶石襯底的正反兩面都分為四個部分，正反兩面貼的隔離錫紙的位置相對，同時在藍(lán)寶石襯底的周側(cè)貼一封閉圈的隔離錫紙；

（4）將步驟（3）制作出的藍(lán)寶襯底置于離子濺射儀中，使用金離子進(jìn)行濺射，在暴露區(qū)形成電極和金屬孔；其中位于藍(lán)寶襯襯底正面的四個電極中，三個用于焊接0402LED貼片，一個用于樣品電學(xué)性質(zhì)測試；

（5）將步驟（4）制造出的藍(lán)寶石襯底上的隔離錫紙撕下，然后對藍(lán)寶石襯底進(jìn)行退火處理；

（6）將0402LED貼片焊接在步驟（5）制作出的藍(lán)寶襯襯底正面的電極上，一片0402LED貼片的兩個引腳焊接在兩個相鄰的電極上，兩片0402LED貼片共用且僅共用一個電極。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的透射電子顯微鏡原位樣品桿的基片的制備方法，其特征在于：所述步驟（6）中，0402LED貼片采用導(dǎo)電銀膠作為粘結(jié)劑焊接在電極上。