[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體長膜工藝中靜電卡盤及晶片溫度的辨識方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410002602.0
• 申請日: 2014-01-02
• 公開（公告）號: CN103762188A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙霞;屈德濤;王業(yè)通
• 申請（專利權(quán)）人: 同濟(jì)大學(xué)
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01K3/02
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 吳林松

1.一種半導(dǎo)體長膜工藝中靜電卡盤及晶片溫度的辨識方法，其特征在于：包括以下步驟：

（1）濾波處理，對靜電卡盤和晶片的溫度數(shù)據(jù)序列進(jìn)行濾波處理，以消除高頻噪聲的影響，得到平滑的溫度數(shù)據(jù)序列；

（2）差分處理，對濾波后的溫度數(shù)據(jù)序列做差分處理，并確定差分?jǐn)?shù)據(jù)的最大值MaxDiff和最小值MinDiff，差分?jǐn)?shù)據(jù)大于0部分的平均值即正均值PosMean和小于0部分的平均值即負(fù)均值NegMean；

（3）確定靜電卡盤溫度和晶片溫度分別對應(yīng)的緩變段準(zhǔn)確位置信息：

（a）根據(jù)所述最大值MaxDiff、最小值MinDiff、正均值PosMean以及負(fù)均值NegMean設(shè)定第一峰門限值PeakGate和第一谷門限值TroughGate，分別比較第一峰門限值PeakGate、第一谷門限值TroughGate和差分?jǐn)?shù)據(jù)的大小，以確定差分?jǐn)?shù)據(jù)中M組靜電卡盤的溫度緩變段初步位置和m組晶片的溫度緩變段初步位置；

（b）根據(jù)正均值PosMean以及負(fù)均值NegMean設(shè)定第二峰門限值和第二谷門限值，且第二峰門限值小于第一峰門限值，第二谷門限值大于第一谷門限值，分別比較M組靜電卡盤/m組晶片的溫度緩變段初步位置中對應(yīng)的差分?jǐn)?shù)據(jù)與第二峰門限值和第二谷門限值的大小，確定所有的靜電卡盤和晶片的溫度緩變段準(zhǔn)確位置；

（4）分別計算靜電卡盤溫度值和晶片溫度值：分別對所述所有的靜電卡盤/晶片溫度緩變段的準(zhǔn)確位置中對應(yīng)的濾波數(shù)據(jù)求取平均值，以得到靜電卡盤及晶片的溫度值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體長膜工藝中靜電卡盤及晶片溫度的辨識方法，其特征在于：所述步驟（a）中，當(dāng)差分?jǐn)?shù)據(jù)中對應(yīng)數(shù)值大于第一峰門限值PeakGate時，判斷其為峰段數(shù)據(jù)，記錄峰段開始點(diǎn)及結(jié)束點(diǎn)的位置并定義為峰段數(shù)組，則差分?jǐn)?shù)據(jù)中包括多組峰段數(shù)組，將每組峰段數(shù)組中峰段開始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的位置信息添加“+”號，并記錄到峰段/谷段數(shù)組中，當(dāng)差分?jǐn)?shù)據(jù)中對應(yīng)數(shù)值小于第一谷門限數(shù)值TroughGate時，判斷其為谷段數(shù)據(jù)，記錄谷段開始點(diǎn)及結(jié)束點(diǎn)的位置并定義為谷段數(shù)組，則差分?jǐn)?shù)據(jù)中包括多組谷段數(shù)組，將每組谷段數(shù)組中谷段開始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的位置信息添加“-”號，并記錄到峰段/谷段數(shù)組，則M組靜電卡盤溫度緩變段的初步位置即為多個峰段結(jié)束點(diǎn)至谷段開始點(diǎn)之間的位置，亦即峰段/谷段數(shù)組中多組“+”～“-”之間的位置；晶片溫度緩變段的初步位置即為谷段結(jié)束點(diǎn)至峰段開始點(diǎn)之間的位置，亦即峰段/谷段數(shù)組中多組“-”～“+”之間的位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體長膜工藝中靜電卡盤及晶片溫度的辨識方法，其特征在于：步驟（a）中，對峰段/谷段數(shù)組的首末位置進(jìn)行分析，考慮差分?jǐn)?shù)據(jù)的兩端是否有較多數(shù)據(jù)未被包括在峰段/谷段數(shù)組中，若是，則更新峰段/谷段數(shù)組。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體長膜工藝中靜電卡盤及晶片溫度的辨識方法，其特征在于：若峰段/谷段數(shù)組首位置為正值，在首位置前加入一個負(fù)值(-1)，否則加入一個正值(+1)；若峰段/谷段數(shù)組末位置為正值，則在末位置后加入一個負(fù)值（-(n-1)，n為濾波數(shù)據(jù)總數(shù)），否則加入一個正值（+(n-1)，n為濾波數(shù)據(jù)總數(shù))。