[發(fā)明專利]氮化鋁覆銅陶瓷基板的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410001975.6
• 申請日: 2014-01-02
• 公開（公告）號: CN103762181B
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 俞曉東;賀賢漢;李德善;祝林
• 申請（專利權(quán)）人: 上海申和熱磁電子有限公司
• 主分類號: H01L21/48
• 分類號: H01L21/48
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責(zé)任公司 31203
• 代理人: 沈履君

1.氮化鋁覆銅陶瓷基板的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

第一步，對氮化鋁陶瓷和銅片進行清洗；

第二步，對氮化鋁陶瓷進行預(yù)氧化處理，使陶瓷表面生成氧化鋁層；

第三步，對預(yù)氧化后的氮化鋁陶瓷表面添加金屬改性層，所述金屬改性層為含銅氧化物，并進行燒結(jié)；

第四步，銅片表面進行熱氧化處理，使銅片表面生成氧化亞銅；

第五步，將銅片放置在經(jīng)過改性處理的氮化鋁陶瓷表面進行第一面燒結(jié)，完成之后再進行第二面燒結(jié)；

所述金屬改性層為CuO或Cu₂O或兩者混合物；

所述金屬改性層為CuAlO₂或CuAl₂O₄或兩者混合物；

所述金屬改性層的厚度為1μm～50μm；

所述第三步中，燒結(jié)是在1050℃～1200℃下進行，燒結(jié)時間為10min～120min，氣氛為氮氣保護的弱氧氣氛，氧含量為100ppm～1000ppm；

所述第一步中，對氮化鋁陶瓷和銅片采用酸堿溶液、去離子水，通過超聲清洗、噴淋、預(yù)脫水工藝進行清洗；

所述第二步中，對氮化鋁陶瓷進行預(yù)氧化處理，溫度設(shè)定為1000℃～1300℃，氧化時間為0.5h～24h，氣氛為氮氣保護下的氧化氣氛，氮氧含量比為4:1～10:1，氧化鋁層厚度為1μm～100μm；

所述第四步中，銅片表面進行熱氧化處理，氧化溫度設(shè)定為500℃～900℃，氧化時間為10min～60min，氧化氣氛為氮氣保護下的氧化氣氛，氧含量為500ppm～3000ppm；

所述第五步中，第一面燒結(jié)的溫度設(shè)定為1060℃～1075℃，燒結(jié)時間為20min～35min，氣氛為氮氣保護的弱氧氣氛，氧含量為5ppm～200ppm；

第二面燒結(jié)的溫度設(shè)定為1065℃～1080℃，燒結(jié)時間為20min～35min，氣氛為氮氣保護的弱氧氣氛，氧含量為5ppm～200ppm。