[發明專利]一種具有低熱彈性阻尼結構的扭轉式微機電諧振器件有效
| 申請號： | 201410001421.6 | 申請日： | 2014-01-02 |
| 公開（公告）號： | CN103780221B | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發明（設計）人： | 李普;方玉明;臺永鵬 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | H03H9/24 | 分類號： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249 | 代理人： | 楊曉玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 低熱 彈性 阻尼 結構 扭轉 式微 機電 諧振 器件 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有低熱彈性阻尼結構的扭轉式微機電諧振器件，其特征在于，該器件包括基底（4）、設置在所述基底（4）上的低熱彈性阻尼結構、驅動電極（5）和感應電極（6），以及由所述低熱彈性阻尼結構支撐的扭轉平板（1），所述低熱彈性阻尼結構包括位于同一軸線上的、具有矩形截面的第一扭轉支撐梁（2）和第二扭轉支撐梁（3），扭轉平板（1）能夠繞第一扭轉支撐梁（2）和第二扭轉支撐梁（3）所在的軸線旋轉，所述驅動電極（5）和感應電極（6）對稱設置在低熱彈性阻尼結構的軸線兩側，所述第一扭轉支撐梁（2）和第二扭轉支撐梁（3）的矩形截面的長邊垂直于基底（4）。
2.根據權利要求書1所述的具有低熱彈性阻尼結構的扭轉式微機電諧振器件，其特征在于，所述驅動電極（5）和感應電極（6）位于扭轉平板（1）的下方，且不與低熱彈性阻尼結構連接。
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