[發明專利]一種靶材組件及其制備方法

有效

• 申請號: 201410001378.3
• 申請日: 2014-01-02
• 公開（公告）號: CN103726025A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 陳俊杰;黃威智;方家芳
• 申請（專利權）人: 昆山全亞冠環保科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23K1/00;B23K1/20
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林;汪慶朋

1.一種靶材組件，包括背板（1）和靶材（5），其特征在于，所述背板（1）的焊合表面設有低熔點的背板焊料層（2），所述靶材（5）的焊合表面從內到外依次設有等離子噴涂界面層（4）和低熔點的靶材焊料層（3）；

所述背板焊料層（2）與靶材焊料層（3）軟焊接。

2.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，

所述靶材（5）的組成成分為石墨。

3.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，

所述背板（1）的材料為銅。

4.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，

所述背板焊料層（2）和靶材焊料層（3）的材料均為銦或錫。

5.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，

所述等離子噴涂界面層（4）的材料為氧化鉻或氧化鋁。

6.根據權利要求5所述的靶材組件，其特征在于，

所述等離子噴涂界面層（4）的厚度不小于100微米。

7.根據權利要求1所述靶材組件的制備方法，其特征在于，包括以下幾個步驟：

（1）在所述背板（1）的焊合表面涂覆背板焊料層（2），并加熱所述背板焊料層（2）使其成為熔融狀態；

（2）在所述靶材（5）的焊合表面用砂紙打磨；

（3）在所述靶材（5）的砂紙打磨表面利用等離子噴涂方法噴涂等離子噴涂界面層（4）；

（4）在確定無等離子噴涂界面層（4）脫落后，在所述等離子噴涂界面層（4）上涂覆靶材焊料層（3），并加熱所述靶材焊料層（3）使其成為熔融狀態；

（5）將所述背板（1）上熔融狀態的背板焊料層（2）與靶材（5）上熔融狀態的靶材焊料層（3）進行軟焊接合。

8.根據權利要求7所述靶材組件的制備方法，其特征在于，

步驟（2）中，所述靶材（5）的焊合表面選用400目或800目的砂紙進行打磨。

9.根據權利要求7所述靶材組件的制備方法，其特征在于，

步驟（4）中，通過賽路凡膠帶進行剝離測試，確定有無等離子噴涂界面層（4）脫落。