[發(fā)明專利]交接位置示教方法、交接位置示教裝置及基板處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410001239.0
• 申請(qǐng)日: 2014-01-02
• 公開（公告）號(hào): CN103972137B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉田武司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 斯克林集團(tuán)公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司72003
• 代理人: 宋曉寶,郭曉東

1.一種交接位置示教方法，用于對(duì)與基板交接構(gòu)件交接基板的手部示教基板的交接位置，其特征在于，

包括：

檢測(cè)構(gòu)件配置工序，將檢測(cè)構(gòu)件配置在與所述基板交接構(gòu)件相對(duì)應(yīng)的位置上，在通過所述手部支撐并搬送用于代替應(yīng)該與所述基板交接構(gòu)件進(jìn)行交接的基板的示教用基板時(shí)，所述檢測(cè)構(gòu)件用于檢測(cè)該檢測(cè)構(gòu)件與該示教用基板的接觸；

支撐工序，通過所述手部來支撐所述示教用基板；

移動(dòng)工序，使支撐有所述示教用基板的手部移動(dòng)；

交接位置確定工序，基于在被所述手部支撐的情況下移動(dòng)的所述示教用基板與所述檢測(cè)構(gòu)件相接觸的位置，確定所述基板的交接位置并進(jìn)行存儲(chǔ)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的交接位置示教方法，其特征在于，

所述基板交接構(gòu)件為以層疊狀態(tài)儲(chǔ)存多個(gè)基板的基板儲(chǔ)存用容器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的交接位置示教方法，其特征在于，

針對(duì)所述基板儲(chǔ)存用容器中的最上部的儲(chǔ)存位置和最下部的儲(chǔ)存位置，示教基板的交接位置。

4.一種基板處理裝置，其特征在于，

具有通過權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的交接位置示教方法來示教了交接位置的手部。

5.一種交接位置示教裝置，用于對(duì)與基板交接構(gòu)件交接基板的手部示教基板的交接位置，其特征在于，

具有：

示教用基板，代替應(yīng)該與所述基板交接構(gòu)件交接的基板而被所述手部支撐；

檢測(cè)構(gòu)件，配置在與所述基板交接構(gòu)件相對(duì)應(yīng)的位置上，用于在通過所述手部搬運(yùn)所述示教用基板時(shí)，檢測(cè)與該示教用基板的接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的交接位置示教裝置，其特征在于，

所述基板交接構(gòu)件是以層疊狀態(tài)儲(chǔ)存多個(gè)基板的基板儲(chǔ)存用容器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的交接位置示教裝置，其特征在于，

所述示教用基板以及所述檢測(cè)構(gòu)件具有導(dǎo)電性，通過使所述示教用基板和所述檢測(cè)構(gòu)件之間通電，檢測(cè)所述示教用基板和所述檢測(cè)構(gòu)件之間的接觸。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的交接位置示教裝置，其特征在于，

所述檢測(cè)構(gòu)件由如下構(gòu)件構(gòu)成：

一對(duì)Y方向用觸點(diǎn)構(gòu)件，與所述基板儲(chǔ)存用容器的開口部的寬度相對(duì)應(yīng)地配設(shè)；

X方向用觸點(diǎn)構(gòu)件，其與從所述基板儲(chǔ)存用容器的開口部起的進(jìn)深相對(duì)應(yīng)地配置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的交接位置示教裝置，其特征在于，

所述Y方向用觸點(diǎn)構(gòu)件和所述X方向用觸點(diǎn)構(gòu)件具有沿著鉛垂方向延伸的柱狀形狀，并且所述Y方向用觸點(diǎn)構(gòu)件和所述X方向用觸點(diǎn)構(gòu)件各自在與所述基板儲(chǔ)存用容器中的最上部的儲(chǔ)存位置和最下部的儲(chǔ)存位置相對(duì)應(yīng)的高度位置上，分別形成有用于支撐所述示教用基板的凸緣部。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的交接位置示教裝置，其特征在于，

所述示教用基板具有能夠插入所述檢測(cè)構(gòu)件的孔部。

11.一種基板處理裝置，與權(quán)利要求5至10中任一項(xiàng)所述的交接位置示教裝置相連接，其特征在于，

具有：

控制部，對(duì)具有所述手部的搬運(yùn)機(jī)械手的位置進(jìn)行控制；

交接位置確定單元，基于在被所述手部支撐的情況下移動(dòng)的所述示教用基板與所述檢測(cè)構(gòu)件相接觸的位置，確定所述基板的交接位置并進(jìn)行存儲(chǔ)。