[發(fā)明專利]單極性低溫等離子體電源

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410000814.5
• 申請(qǐng)日: 2014-01-02
• 公開（公告）號(hào): CN103683981A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王凌云;劉宏偉;李杰;李喜;章林文;李洪濤;王傳偉;袁建強(qiáng);姜蘋;馬勛;丁勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院流體物理研究所
• 主分類號(hào): H02M7/04
• 分類號(hào): H02M7/04;H02M3/335;H02M1/14;H05H1/24
• 代理公司: 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51220
• 代理人: 謝敏

1.單極性低溫等離子體電源，其特征在于：包括依次連接的交流變換單元、波形整形單元和材料表面處理單元，所述的交流變換單元包括變壓器T1和整流器D1，所述的變壓器T1一端連接市電，另一端經(jīng)整流器D1連接到波形整形單元，所述的波形整形單元包括變壓器T3、功率開關(guān)管Q1和方波發(fā)生器T2，所述的變壓器T3的原邊的一個(gè)端口連接到交流變換單元，另一個(gè)端口經(jīng)功率開關(guān)管Q1接地，功率開關(guān)管Q1的控制端連接到方波發(fā)生器T2，所述的材料表面處理單元包括兩個(gè)平行相隔的電極板，該兩個(gè)電極板分別連接到變壓器T3的副邊的兩個(gè)端口上，兩個(gè)電極板上還并聯(lián)有一個(gè)放電電阻R2。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單極性低溫等離子體電源，其特征在于，所述的波形整形單元與材料表面處理單元之間設(shè)置有一個(gè)波形二次整形單元，所述的波形二次整形單元包括二極管D2、二極管D3、調(diào)節(jié)電阻R1和調(diào)節(jié)電容X1，所述的二極管D2、二極管D3、調(diào)節(jié)電阻R1依次串聯(lián)后，前端接變壓器T3，后端接材料表面處理單元中的高壓電極板，所述的調(diào)節(jié)電容X1并聯(lián)在材料表面處理單元的兩個(gè)電極板上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單極性低溫等離子體電源，其特征在于，所述的變壓器T3為多原邊變壓器，變壓器T3的所有原邊中的都有一端口連接到功率開關(guān)管Q1，剩下的端口各自通過一個(gè)開關(guān)連接到交流變換單元。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單極性低溫等離子體電源，其特征在于，所述的變壓器T3與交流變換單元之間還設(shè)置有一個(gè)電感L1和一個(gè)單刀雙擲的開關(guān)J1，電感L1的一端連接交流變換單元，另一端連接開關(guān)J1的其中一個(gè)不動(dòng)端，開關(guān)J1另一個(gè)不動(dòng)端連接交流變換單元，開關(guān)J1的動(dòng)端連接到變壓器T3。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單極性低溫等離子體電源，其特征在于，所述的交流變換單元與波形整形單元之間還設(shè)置有一個(gè)濾波器，所述的濾波器包括極性電容C1和非極性電容C2。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單極性低溫等離子體電源，其特征在于，所述方波發(fā)生器T2為MAX308。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單極性低溫等離子體電源，其特征在于，所述的功率開關(guān)管Q1采用高壓IGBT。