[其他]具有分段式焦平面陣列的系統

有效

• 申請號: 201390001101.X
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN204927290U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: B·西蒙朗;E·A·庫爾特;M·納斯邁耶;N·霍根斯特恩;T·R·赫爾特;K·斯特蘭德瑪;P·布朗熱;B·夏普
• 申請（專利權）人: 菲力爾系統公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;G01J5/20
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 武晨燕;遲姍

1.一種具有分段式焦平面陣列的系統，其特征在于，該分段式焦平面陣列包括：

第一裸片，其包括適于從場景接收紅外輻射的有源輻射熱計探測器的陣列；

第二裸片，其相對于所述第一裸片堆疊并且至少包括讀出集成電路的一部分；以及

多個裸片間連接部件，其適于在所述第一裸片和所述第二裸片之間傳遞信號，其中，傳遞的信號用于產生對應于在所述有源輻射熱計探測器接收的所述紅外輻射的輸出值。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于：

所述分段式焦平面陣列包括帽，所述帽適于密封所述第一裸片的至少一部分；以及

所述第一裸片和所述帽形成真空封裝組件。

3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一裸片包括一個或多個熱短路的輻射熱計探測器和適于調整與所述有源輻射熱計探測器相關的偏壓信號以補償所述第一裸片的溫度變化的伴隨電路。

4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于：

所述傳遞的信號包括檢測信號，所述檢測信號由至少一個所述有源輻射熱計探測器響應于所述輻射而提供并且通過至少一個裸片間連接部件從所述第一裸片傳遞到所述第二裸片；以及

所述第二裸片的讀出集成電路的一部分包括：

積分器，其適于響應于所述檢測信號而提供模擬信號，以及

模數轉換器，其適于響應于所述模擬信號而提供至少一個輸出值。

5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一裸片至少包括讀出集成電路的另一部分。

6.根據權利要求5所述的系統，其特征在于：

所述讀出集成電路的第一裸片部分包括適于響應于檢測信號而提供模擬信號的積分器，所述檢測信號由至少一個所述有源輻射熱計探測器響應于所述輻射而提供；

所述傳遞的信號包括通過至少一個裸片間連接部件從所述第一裸片傳遞到所述第二裸片的模擬信號；以及

所述讀出集成電路的第二裸片部分包括適于響應于所述模擬信號而提供至少一個輸出值的模數轉換器。

7.根據權利要求5所述的系統，其特征在于：

所述讀出集成電路的第一裸片部分包括：

積分器，其適于響應于檢測信號而提供模擬信號，所述檢測信號由至少一個所述有源輻射熱計探測器響應于所述輻射而提供；

采樣和保持電路，其適于響應于所述模擬信號而捕獲電壓，以及

比較器；

所述讀出集成電路的第二裸片部分包括斜坡發生器；

所述傳遞的信號包括斜坡信號，所述斜坡信號由所述斜坡發生器提供并且通過至少一個裸片間連接部件從所述第二裸片傳遞到所述第一裸片；以及

所述比較器適于從所述采樣和保持電路接收捕獲的電壓并基于所述捕獲的電壓和所述斜坡信號選擇至少一個所述輸出值。

8.根據權利要求1所述的系統，其特征在于：

所述傳遞的信號包括穩定電壓；并且

所述第二裸片進一步包括低壓差穩壓器，其適于通過至少一個裸片間連接部件向所述第一裸片提供所述穩定電壓。

9.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述裸片間連接部件包括硅通孔。

10.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述裸片間連接部件包括微型凸塊。

11.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，使用不同的半導體制造工藝制造所述第一裸片和所述第二裸片。