[其他]ESD保護器件

有效

• 申請號: 201390000725.X
• 申請日: 2013-12-10
• 公開（公告）號: CN204947321U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發明（設計）人: 足立淳
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H01T4/12
• 分類號: H01T4/12;H01T2/02;H01T4/10;H01T21/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 宋俊寅

技術領域

本實用新型涉及ESD保護器件及其制造方法。

背景技術

以往，為了保護半導體裝置及電子電路不受靜電影響，使用例如專利文獻1(WO2008/146514)所示的ESD(Electro-StaticDischarge：靜電放電)保護器件。

圖7示出了專利文獻1所示的ESD保護器件600的剖視圖。

ESD保護器件600包括內部具有空洞107的陶瓷主體110。

空洞107內形成有端面103a、105a隔著間隔G相對的一對放電電極層103、105。

放電電極層103、105和其相對的區域109的下方形成有放電輔助電極層104。放電輔助電極層104包含導體粒子以及絕緣體材料。

陶瓷主體110的表面上形成有與放電電極層103、105電連接的多個外部電極112、112。

能通過縮小放電電極層103、105的端面103a、105a的間隔G，來降低ESD保護器件600的放電開始電壓。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：WO2008/146514

實用新型內容

實用新型所要解決的技術問題

在以往的ESD保護器件600的制造方法中，端面103a、105a隔著間隔G相對的一對放電電極層103、105通過例如絲網印刷而形成。

然而，絲網印刷的印刷位置精度并不高，因此難以以端面103a、105a隔著狹窄的間隔G相對的方式形成一對放電電極層103、105，難以獲得放電開始電壓較小的ESD保護器件。

本實用新型的目的在于，提供一種包括一對以狹窄間隔相對的放電電極層的放電開始電壓較小的ESD保護器件、以及該ESD保護器件的制造方法。

解決技術問題所采用的技術方案

為了達到上述目的，本實用新型的ESD保護器件的特征在于，包括：陶瓷主體；第1放電電極層及第2放電電極層，該第1放電電極層及第2放電電極層在陶瓷主體的內部以隔開間隔相對的方式配置，且為層狀；空洞，該空洞形成于陶瓷主體的內部；以及多個外部電極，該多個外部電極形成在陶瓷主體的表面上，與第1放電電極層或第2放電電極層電連接，第1放電電極層及第2放電電極層各自的端面在空洞的邊緣部露出。

本實用新型的ESD保護器件的制造方法包括：形成至少一片第1陶瓷生片的工序；形成多片第2陶瓷生片的工序；通過在第1陶瓷生片的一個主面上涂布放電電極層形成用糊料，來形成未燒成的第1放電電極層的工序；通過在第1放電電極層上涂布包含導體粒子及絕緣體材料在內的放電輔助電極層形成用糊料，來形成未燒成的放電輔助電極層的工序；通過在放電輔助電極層上涂布放電電極層形成用糊料，來形成未燒成的第2放電電極層的工序；形成依次貫穿第2放電電極層、放電輔助電極層、第1放電電極層、及第1陶瓷生片的空洞的工序；通過依次層疊并壓接第2陶瓷生片、形成有空洞的第1陶瓷生片、第2陶瓷生片，來形成內部具有空洞的陶瓷主體的工序；對陶瓷主體進行燒成的工序；以及在陶瓷主體的表面上形成與第1放電電極層或第2放電電極層電連接的多個外部電極的工序。

實用新型效果

根據本實用新型，能獲得包括一對以狹窄間隔相對的放電電極層的、放電開始電壓較小的ESD保護器件。

附圖說明

圖1(A)是本實用新型的實施方式1所涉及的ESD保護器件100的分解立體圖。圖1(B)是ESD保護器件100的剖視圖，與圖1(A)的A-A線相對應。圖1(C)是ESD保護器件100的剖視圖，與圖1(A)的B-B線相對應。另外，圖1(A)中省略了外部電極12。

圖2(A)～圖2(D)分別是表示本實用新型的實施方式1所涉及的ESD保護器件100的制造方法中應用的各工序的俯視圖。

圖3是本實用新型的實施方式2所涉及的ESD保護器件200的分解立體圖。另外，圖3中省略了外部電極12。

圖4是本實用新型的實施方式3所涉及的ESD保護器件300的分解立體圖。

圖5是本實用新型的實施方式4所涉及的ESD保護器件400的分解立體圖。

圖6是本實用新型的實施方式5所涉及的ESD保護器件500的分解立體圖。

圖7是現有的ESD保護器件600的剖視圖。

具體實施方式

以下，對用于實施本實用新型的實施方式與附圖一起進行說明。

(實施方式1)

圖1示出了本實用新型的實施方式1所涉及的ESD保護器件100。