[發明專利]蒸發源移送單元、蒸鍍裝置及蒸鍍方法

有效

• 申請號: 201380081651.1
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN105874096B
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 尹鐘甲
• 申請（專利權）人: 銑益系統有限責任公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L51/56;C23C14/12
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 呂琳,劉明海

1.一種蒸發源移送單元，配置于蒸鍍腔室的內部，用于移送線形的蒸發源，上述蒸發源移送單元的特征在于，包括：

下側軌道，包括線形的第一軌道、線形的第二軌道及曲線的第三軌道，上述第一軌道垂直于從一個中心點橫穿上述蒸鍍腔室的虛擬的第一放射方向，上述第二軌道垂直于從上述中心點橫穿上述蒸鍍腔室的虛擬的第二放射方向，上述第三軌道用于連接上述第一軌道和上述第二軌道；

上側軌道，包括線形的第四軌道、線形的第五軌道及曲線的第六軌道，上述第四軌道與上述第一軌道相隔開來形成平行，上述第五軌道與上述第二軌道相隔開來形成平行，上述第六軌道用于連接上述第四軌道和上述第五軌道；以及

移送部，上述線形的蒸發源以相對于上述下側軌道和上述上側軌道形成垂直的方式相結合，上述移送部沿著上述下側軌道和上述上側軌道進行往復移動，

上述移送部包括：

一對第一滑動部，分別以沿著上述下側軌道和上述上側軌道移動的方式與上述下側軌道和上述上側軌道相向并相結合；以及

一對第二滑動部，分別與上述一對第一滑動部相隔開，并以沿著上述下側軌道和上述上側軌道移動的方式與上述下側軌道和上述上側軌道相向并相結合，

上述第一滑動部包括：

移動塊，沿著上述下側軌道或上述上側軌道移動；以及

旋轉塊，以能夠向水平方向進行旋轉的方式與上述移動塊的上側相結合，

上述第二滑動部包括：

移動塊，沿著上述下側軌道或上述上側軌道移動；

旋轉塊，以能夠向水平方向進行旋轉的方式與上述移動塊的上側相結合；以及

滑動桿，以相對于上述旋轉塊進行滑動的方式與上述旋轉塊相結合。

2.根據權利要求1所述的蒸發源移送單元，其特征在于，

還包括源支架，上述源支架被上述第一滑動部和上述第二滑動部支撐，

上述蒸發源與上述源支架相結合。

3.根據權利要求2所述的蒸發源移送單元，其特征在于，還包括：

齒軌，分別向上述下側軌道及上側軌道的外側隔開規定間隔，并沿著上述上側軌道及上述下側軌道配置；

小齒輪，與上述齒軌相嚙合；以及

馬達部，與上述源支架相結合，用于向上述小齒輪提供旋轉力。

4.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括：

蒸鍍腔室，被劃分為第一蒸鍍區域和第二蒸鍍區域，第一基板在一個中心點沿著第一放射方向在上述第一蒸鍍區域進行引出引入，第二基板在上述中心點沿著第二放射方向在上述第二蒸鍍區域進行引出引入；

第一基板裝載部，向上述第一放射方向裝載并放置上述第一基板；

第二基板裝載部，向上述第二放射方向裝載并放置上述第二基板；

蒸發源，與上述第一基板或上述第二基板相向，并噴射蒸發物質；以及

蒸發源移送單元，用于移送上述蒸發源，

上述蒸發源移送單元包括：

下側軌道，包括線形的第一軌道、線形的第二軌道及曲線的第三軌道，上述第一軌道與上述第一放射方向形成垂直，上述第二軌道與上述第二放射方向形成垂直，上述第三軌道用于連接上述第一軌道和上述第二軌道；

上側軌道，包括線形的第四軌道、線形的第五軌道及曲線的第六軌道，上述第四軌道與上述第一軌道相隔開來形成平行，上述第五軌道與上述第二軌道相隔開來形成平行，上述第六軌道用于連接上述第四軌道和上述第五軌道；以及

移送部，上述線形的蒸發源以相對于上述下側軌道和上述上側軌道形成垂直的方式相結合，上述移送部沿著上述下側軌道和上述上側軌道進行往復移動，

上述移送部包括：

一對第一滑動部，分別以沿著上述下側軌道和上述上側軌道移動的方式與上述下側軌道和上述上側軌道相向并相結合；以及

一對第二滑動部，分別與上述一對第一滑動部相隔開，并以沿著上述下側軌道和上述上側軌道移動的方式與上述下側軌道和上述上側軌道相向并相結合，

上述第一滑動部包括：

移動塊，沿著上述下側軌道或上述上側軌道移動；以及

旋轉塊，以能夠向水平方向進行旋轉的方式與上述移動塊的上側相結合，

上述第二滑動部包括：

移動塊，沿著上述下側軌道或上述上側軌道移動；

旋轉塊，以能夠向水平方向進行旋轉的方式與上述移動塊的上側相結合；以及

滑動桿，以相對于上述第一放射方向向垂直方向滑動的方式與上述旋轉塊相結合。