[發明專利]一種倒裝芯片的扇出裝置和方法有效
| 申請號: | 201380079765.2 | 申請日: | 2013-09-23 |
| 公開(公告)號: | CN105593981B | 公開(公告)日: | 2018-06-05 |
| 發明(設計)人: | 郭敘海 | 申請(專利權)人: | 展訊通信(上海)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 吳敏 |
| 地址: | 201203 上海市浦東新區張*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 測試 倒裝芯片 扇出 凸塊焊盤 電氣測試 后續工藝 配置文件 扇出裝置 探頭 凸塊 探測 生長 | ||
1.一種倒裝芯片的凸塊焊盤扇出方法,其特征在于,包括:
確定所述凸塊焊盤是否包括用于電氣測試的測試部分;以及
如果確定所述凸塊焊盤包括用于電氣測試的測試部分,在與所述凸塊焊盤相關的配置文件中生成所述測試部分的指示,使得所述測試部分不被用于扇出。
2.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述配置文件為庫交換格式文件。
3.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述測試部分的指示包括所述測試部分各頂點的坐標。
4.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述凸塊焊盤包括所述測試部分和凸塊生長部分,所述生成所述測試部分的指示包括:生成所述凸塊生長部分的指示。
5.一種倒裝芯片的凸塊焊盤扇出裝置,其特征在于,包括:
凸塊焊盤確定單元,用于確定所述凸塊焊盤是否包括用于電氣測試的測試部分;以及
指示生成單元,用于在所述凸塊焊盤包括用于電氣測試的測試部分時,在與所述凸塊焊盤相關的配置文件中生成所述測試部分的指示,使得所述測試部分不被用于扇出。
6.如權利要求5所述的裝置,其特征在于,所述配置文件為庫交換格式文件。
7.如權利要求5所述的裝置,其特征在于,所述測試部分的指示包括所述測試部分各頂點的坐標。
8.如權利要求5所述的裝置,其特征在于,所述凸塊焊盤包括所述測試部分和凸塊生長部分,所述指示生成單元包括:用于生成所述凸塊生長部分的指示的單元。
9.一種倒裝芯片的凸塊焊盤扇出系統,其特征在于,包括:
處理器;以及
與所述處理器耦接的存儲器,用于存儲指令,所述指令一旦被處理器執行,可以實現權利要求1至權利要求4中任一項權利要求所述的方法。
10.一種非平穩計算機可讀介質,用于有形地對計算機程序產品進行編碼,所述計算機程序產品包含指令,所述指令一旦被處理器執行,可使得所述處理器執行權利要求1至權利要求4中任一項權利要求所述的方法的步驟。
11.一種倒裝芯片的凸塊焊盤扇出方法,其特征在于,包括:
確定與所述凸塊焊盤相關的配置文件是否包括位于所述凸塊焊盤上的測試部分的指示;以及
如果確定所述凸塊焊盤相關的配置文件包括位于所述凸塊焊盤上的測試部分的指示,確定所述測試部分不被用于扇出。
12.如權利要求11所述的方法,其特征在于,所述配置文件為庫交換格式文件。
13.如權利要求11所述的方法,其特征在于,所述測試部分的指示包括所述測試部分各頂點的坐標。
14.如權利要求11所述的方法,其特征在于,所述凸塊焊盤包括所述測試部分和凸塊生長部分,所述確定所述測試部分不被用于扇出包括:基于所述測試部分的指示計算所述凸塊生長部分中的點,使得所述扇出基于所述計算出的點來執行。
15.一種倒裝芯片的凸塊焊盤扇出裝置,其特征在于,包括:
配置文件確定單元,用于確定與所述凸塊焊盤相關的配置文件是否包括位于所述凸塊焊盤上的測試部分的指示;以及
扇出保護單元,用于:當與所述凸塊焊盤相關的配置文件包括位于所述凸塊焊盤上的測試部分的指示時,確定所述測試部分不被用于扇出。
16.如權利要求15所述的裝置,其特征在于,所述配置文件為庫交換格式文件。
17.如權利要求15所述的裝置,其特征在于,所述測試部分的指示包括所述測試部分各頂點的坐標。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





