[發明專利]光波導形成用樹脂組合物、光波導形成用樹脂膜和使用它們的光波導

在審

• 申請號: 201380079240.9
• 申請日: 2013-08-30
• 公開（公告）號: CN105518499A
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發明（設計）人: 內崎雅夫;酒井大地;黑田敏裕
• 申請（專利權）人: 日立化成株式會社
• 主分類號: G02B6/12
• 分類號: G02B6/12;C08F2/44
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;金鮮英

技術領域

本發明涉及光波導用樹脂組合物、光波導形成用樹脂膜和使用它們的光波導，尤 其涉及透明性(低光傳播損失)優異并且可溶于堿性水溶液的光波導用樹脂組合物、由該樹 脂組合物構成的光波導用樹脂膜和使用它們的光波導。

背景技術

近年來，在電子元件間、配線基板間的高速、高密度信號傳輸中，對于以往利用電 氣配線進行的傳輸，信號的相互干涉、衰減成為障礙，開始可見高速、高密度化的極限。為了 打破該極限，研究了用光連接電子元件間、配線基板間的技術，即所謂的光互連。作為光的 傳輸路徑，從加工容易性、低成本、配線的自由度高、并且能夠高密度化方面出發，聚合物光 波導備受關注。

作為聚合物光波導的形態，認為如下類型合適：在設想應用于光電混載基板的玻 璃環氧樹脂基板上制作的類型、不帶有設想連接板彼此的硬支撐基板的柔性類型。

對于聚合物光波導，從所應用的器械的使用環境、部件安裝等觀點出發，要求透明 性(低光傳播損失)的同時還要求高耐熱性。此外，根據光配線設計的自由度提高、設備的高 功能化、工序簡化等要求，期望是通過曝光、顯影能夠自由形成所要求的圖案的材料。作為 顯影方法，可設想溶劑顯影型和堿顯影型，但從環境負荷、安全性的觀點出發，期望堿顯影 型。作為應對這樣的要求的光波導材料，已知使用了(甲基)丙烯酸聚合物的材料(例如，參 照專利文獻1)。

然而，該專利文獻中記載的使用了(甲基)丙烯酸聚合物的光波導用樹脂組合物雖 然能夠進行堿顯影，并且在波長850nm時具有0.3dB/cm的光傳播損失，但是對于所要求的利 用光的高速、高密度信號傳輸，該數值未必充分。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特許第4241874號公報

發明內容

本發明是為了解決上述課題而完成的，其目的在于，提供一種光波導用樹脂組合 物、光波導用樹脂膜和使用它們的光波導，所述光波導用樹脂組合物可溶于堿性水溶液，能 夠通過堿顯影進行所要求的圖案化，并且波長830～850nm時的光傳播損失優異。

本發明人等反復進行了深入研究，結果發現：通過滿足特定測定條件下折射率的 行為條件，或者通過使用特定的化合物，能夠得到具有優異的透明性(低光傳播損失)并且 優選能夠進行堿顯影的光波導用樹脂組合物、光波導用樹脂膜和使用它們的光波導，所述 光波導用樹脂組合物是含有(A)聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引發劑的光波導形成 用樹脂組合物。

即，本發明涉及以下各項發明。

(1)一種光波導形成用樹脂組合物，其是含有(A)聚合物、(B)聚合性化合物和(C) 聚合引發劑的光波導形成用樹脂組合物，上述組合物是折射率A與折射率B的關系為A＞B的 組合物，

所述折射率A是通過將組合物形成為膜狀，以處于1000～4000mJ/cm²范圍的預定 照射量(X)照射紫外線(波長365nm)，接著以處于160～180℃范圍的預定溫度(T1)和處于 0.5～3小時范圍的預定時間(H1)加熱后測定的、處于830～850nm范圍的預定波長(λ)下的 折射率，

所述折射率B是通過將組合物形成為膜狀，以上述預定的照射量(X)照射紫外線 (波長365nm)，接著以溫度處于20～40℃范圍的預定溫度(T2)和時間處于1～5分鐘范圍的 預定時間(H2)浸漬于具有處于0.5～5質量％范圍的預定濃度(C1)的碳酸鉀水溶液中，之后 以上述預定溫度(T1)加熱上述預定時間(H1)后測定的、上述預定波長(λ)下的折射率。

(2)一種光波導形成用樹脂組合物，其是含有(A)聚合物、(B)聚合性化合物和(C) 聚合引發劑的光波導形成用樹脂組合物，上述組合物是折射率A與折射率C的關系為A-C≥ 0.003的組合物，

所述折射率A是通過將組合物形成為膜狀，以處于1000～4000mJ/cm²范圍的預定 照射量(X)照射紫外線(波長365nm)，接著以處于160～180℃范圍的預定溫度(T1)加熱處于 0.5～3小時范圍的預定時間(H1)后測定的、處于830～850nm范圍的預定波長(λ)下的折射 率，

所述折射率C是通過將組合物形成為膜狀，以上述預定照射量(X)照射紫外線(波 長365nm)后測定的、上述預定波長(λ)下的折射率。