[發明專利]MEMS光纖開關

在審

• 申請號: 201380079073.8
• 申請日: 2013-06-27
• 公開（公告）號: CN105474059A
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發明（設計）人: 周健;李俊;劉志東;徐可勝;朱培
• 申請（專利權）人: 光聯通訊有限公司
• 主分類號: G02B6/26
• 分類號: G02B6/26;G02B6/35;G02B26/08
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 張琦;韓羽楓

1.一種光開關，包括：

多條光纖，以一陣列設置，所述多條光纖包括一條或多條輸入光纖以及 多條輸出光纖；

一微機電(MEMS)反射鏡，設置成將來自一輸入光纖的光能夠控制地 反射到所述多條輸出光纖中的一特定的目標輸出光纖，其中，所述MEMS 反射鏡的位置能夠控制，以從所述多條輸出光纖中的一第一目標輸出光纖切 換到一第二目標輸出光纖，而且其中，所述MEMS反射鏡的位置采用多個豎 向交錯的梳齒驅動器來控制。

2.如權利要求1所述的光開關，其中，所述反射鏡被控制成提供從所述 第一目標輸入光纖到所述第二目標輸入光纖的一切換軌跡，所述切換軌跡不 橫穿所述多條光纖中的任何其它光纖。

3.如權利要求1所述的光開關，其中，所述MEMS反射鏡包括兩個軸， 而且其中，各個軸均能沿順時針方向及逆時針方向旋轉，從而使所述MEMS 反射鏡均能沿的x和y坐標方向以正、負方向旋轉。

4.如權利要求2所述的光開關，其中，所述兩個軸在結構上設置成第二 軸位于第一軸的結構內，從而所述第一軸連同所述第二軸的結構作為一整體 旋轉，而所述第二軸能獨立地旋轉。

5.如權利要求1所述的光開關，其中，一特定豎向交錯的梳齒驅動致動 器包括上梳齒電極以及下梳齒電極，其中，所述上下電極相對彼此上下空間 分布，從而當一電勢差應用在所述上下梳齒電極之間時，一力將所述上下梳 齒電極拖在一起，而使得所述MEMS反射鏡沿一特定軸對應旋轉。

6.如權利要求4所述的光開關，其中，所述豎向交錯的梳齒驅動致動器 選擇性地被驅動，以改變所述MEMS反射鏡的角度位置，從而由所述MEMS 反射鏡反射的光被導向至所述第二目標輸出光纖。

7.如權利要求1所述的光開關，其中，所述多條光纖設置于一插芯內。

8.如權利要求1所述的光開關，還包括：一透鏡，設置在所述多條光纖 和所述MEMS反射鏡之間。

9.如權利要求1所述的光開關，還包括：一控制電路，用于控制所述 MEMS反射鏡。

10.一種光開關，包括：

多條光纖，以一陣列設置，所述多條光纖包括一條或多條輸入光纖以及 多條輸出光纖；

一微機電(MEMS)反射鏡，設置成將來自一輸入光纖的光能夠控制地 反射到所述多條輸出光纖中的一特定的目標輸出光纖，其中，所述MEMS 反射鏡的位置能夠控制，以從所述多條輸出光纖中的一第一目標輸出光纖切 換到一第二目標輸出光纖，而且其中，所述MEMS反射鏡的位置采用聯接于 所述MEMS反射鏡的多個雙壓電晶片懸臂來控制。

11.如權利要求10所述的光開關，其中，所述MEMS反射鏡基于特定懸 臂的變形而沿+x軸、-x軸、+y軸或-y軸旋轉。

12.如權利要求11所述的光開關，其中，各懸臂包括具有不同熱膨脹系 數的雙壓電晶片材料，而且其中，一懸臂的扭轉通過應用一電流流經該懸臂 來加熱所述雙壓電晶片材料而產生。

13.如權利要求11所述的光開關，其中，各懸臂包括雙壓電晶片材料的 一雙S折疊結構。

14.如權利要求11所述的光開關，其中，所述MEMS反射鏡通過四對懸 臂來控制，所述四對懸臂提供所述MEMS反射鏡沿+/-x軸和+/-y軸的四個方 向旋轉。

15.如權利要求10所述的光開關，其中，所述MEMS反射鏡包括一第二 驅動機構以形成一混合驅動機構，其中，所述第二驅動機構為靜電式或壓電 式。