[發明專利]處理襯底表面的方法及裝置

在審

• 申請號: 201380077961.6
• 申請日: 2013-07-04
• 公開（公告）號: CN105340073A
• 公開（公告）日: 2016-02-17
• 發明（設計）人: M.施米德鮑爾;T.岑格;F.施密德;T.韋澤;H.施特爾茨哈默;M.特拉克斯多夫
• 申請（專利權）人: EV集團E·索爾納有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 吳晟;劉春元

1.一種通過將液體(19)施加至襯底表面(10s)或存在于該襯底表面(10s)上的層(17)來處理襯底(10)的襯底表面(10s)的方法，其中通過布置在該襯底表面(10s)上面的加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)加熱已施加至該襯底表面(10s)上的液體(19)，其特征在于通過使該加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)接近和遠離來使該液體(19)的溫度T_R保持恒定。

2.如權利要求1所述的方法，其中該加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)的加熱面溫度T_H至少在處理期間，特別另外在要清潔的襯底(10)的更換期間和/或在預加熱階段期間保持恒定。

3.如權利要求1或2之一所述的方法，其中該加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)在該處理期間平行于該襯底表面(10s)布置。

4.如上述權利要求之一所述的方法，其中其背面(10r)背對該襯底表面(10s)的該襯底(10)是由特別可旋轉襯底固持器(4)固持。

5.如上述權利要求之一所述的方法，其中該加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)具有1mm、特別10mm、優選地25mm、更優選地50mm、又更優選地100mm的最小距離。

6.如上述權利要求之一所述的方法，其中該溫度T_R特別僅通過對該加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)的該接近和遠離的控制/調整而保持恒定，特別該溫度T_R的偏差小于5℃、優選地小于1℃、更優選地小于0.1℃、又更優選地小于0.001℃。

7.如上述權利要求之一所述的方法，其中至少在處理期間特別通過優選地附接至該加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)的至少一個溫度傳感器(15)來測量該溫度T_R和/或該加熱面溫度T_H。

8.一種用于通過將液體(19)施加至襯底表面(10s)或存在于該襯底表面(10s)上的層(17)來處理襯底(10)的襯底表面(10s)的裝置，該裝置具有：

-加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)，其布置在該襯底表面(10s)上用于加熱已施加至該襯底表面(10s)的該液體(19)，

-用于使該加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)接近和遠離且使該液體(19)的溫度T_R保持恒定的構件。

9.如權利要求8所述的裝置，其具有用于容納其背面(10r)背對該襯底表面(10s)的該襯底(10)的特別可旋轉襯底固持器(4)。

10.如權利要求8或9所述的裝置，其具有至少一個溫度傳感器，該至少一個溫度傳感器優選地附接至該加熱面(6u、6u'、6u、6u'''、6u^IV、6u^V)用于測量該溫度T_R和/或加熱面溫度T_H。