[發(fā)明專(zhuān)利]包含有機(jī)鎳化合物的化學(xué)沉積用原料及使用該化學(xué)沉積用原料的化學(xué)沉積法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380076725.2
• 申請(qǐng)日: 2013-12-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105247098A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鈴木和治;齋藤昌幸;原田了輔;鍋谷俊一;宮崎智史
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 田中貴金屬工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/18
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/18;C07F15/04
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 張?zhí)K娜;常海濤

1.一種化學(xué)沉積用原料，其用于通過(guò)化學(xué)沉積法來(lái)制造鎳薄膜或鎳化合物薄膜，其中，

所述化學(xué)沉積用原料包含由下式表示的有機(jī)鎳化合物，其中，該有機(jī)鎳化合物中環(huán)戊二烯基(Cp)或其衍生物、以及在環(huán)烷基的碳骨架中具有一個(gè)烯丙基的環(huán)烯基或其衍生物(X)與鎳配位：

式中，X為在環(huán)烷基的碳骨架中具有一個(gè)烯丙基的環(huán)烯基，R₁至R₅為C_nH_2n+1，n＝0至6，且n為整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)沉積用原料，其中，所述環(huán)烯基或其衍生物(X)是由下式表示的環(huán)丁烯基、環(huán)戊烯基、環(huán)己烯基、環(huán)庚烯基、環(huán)辛烯基、環(huán)壬烯基或它們的衍生物中的任一種：

其中R₆至R₆₅為C_nH_2n+1，n＝0至6，且n為整數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)沉積用原料，其中，對(duì)于環(huán)戊二烯基(Cp)衍生物，在環(huán)戊二烯基(Cp)的取代基(R₁至R₅)之中，一個(gè)為烷基，其余4個(gè)取代基為氫原子。

4.一種化學(xué)沉積法，其為將包含有機(jī)鎳化合物的原料氣化以作為原料氣體，并且一邊將所述原料氣體導(dǎo)入基板表面一邊加熱的鎳薄膜或鎳化合物薄膜的化學(xué)沉積法，其中

作為所述原料，使用根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的化學(xué)沉積用原料。