[發(fā)明專利]用于制造太陽能電池的方法及由此制造的太陽能電池

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380076690.2
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN105264302B
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設計）人: 金容賢;李知衍;李廷喆
• 申請（專利權）人: 三星SDI株式會社
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/02;H01L31/068
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

1.一種用于制造太陽能電池的方法，包括：

進行第一摻雜，其中摻雜劑局部摻雜在襯底的一個表面上以形成電極圖案部分及對準標記；

進行第二摻雜，其中摻雜劑摻雜在所述襯底的經(jīng)所述第一摻雜的表面上；

使用所述對準標記在所述電極圖案部分上進行用于太陽能電池電極的組成物的對準印刷；以及

烘烤經(jīng)印刷的所述組成物以形成前電極，

其中通過所述第一摻雜及所述第二摻雜，所述對準標記被形成為第一發(fā)射極部分或第二發(fā)射極部分，并且所述電極圖案部分被形成為第二發(fā)射極部分。

2.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述第一摻雜包括將摻雜膏印刷在所述襯底上以將摻雜劑植入所述襯底中。

3.根據(jù)權利要求2所述的用于制造太陽能電池的方法，還包括：

在所述第一摻雜后在250℃到350℃下退火1分鐘到10分鐘。

4.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述第二摻雜包括在爐中在800℃到850℃下的氣體摻雜以將摻雜劑植入所述襯底中。

5.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述第一發(fā)射極部分的摻雜劑濃度低于所述第二發(fā)射極部分的摻雜劑濃度。

6.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述第二發(fā)射極部分在所述襯底上所形成的厚度比所述第一發(fā)射極部分的厚度更大。

7.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中進行所述第一摻雜使得所述對準標記與所述電極圖案部分分離，并且所述電極圖案部分及所述對準標記通過所述第二摻雜被形成為所述第二發(fā)射極部分。

8.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述第一摻雜是在排除欲形成有所述對準標記的區(qū)域的所述電極圖案部分的全部區(qū)域上進行，并且通過所述第二摻雜以使所述對準標記形成為在所述電極圖案部分內(nèi)局部形成的所述第一發(fā)射極部分并且所述電極圖案部分形成為所述第二發(fā)射極部分。

9.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述電極圖案部分包括至少一種類型的電極圖案。

10.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述對準標記的數(shù)目介于1到6的范圍內(nèi)。

11.根據(jù)權利要求10所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述對準標記的數(shù)目是2、4或6，并且所述對準標記對稱排列。

12.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述對準標記具有規(guī)則或不規(guī)則的形狀并且直徑是0.2mm到2mm。

13.根據(jù)權利要求9所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述電極圖案部分包括匯流條圖案及指狀條圖案。

14.根據(jù)權利要求1所述的用于制造太陽能電池的方法，其中所述襯底是p型襯底或n型襯底。

15.根據(jù)權利要求14所述的用于制造太陽能電池的方法，其中當所述襯底是p型襯底時，第5族元素用作摻雜劑，并且當所述襯底是n型襯底時，第3族元素用作摻雜劑。

16.一種太陽能電池，通過根據(jù)權利要求1到15中任一權利要求所述的用于制造太陽能電池的方法制造。