[發明專利]蓄電設備及其制造方法以及制造裝置

在審

• 申請號: 201380076187.7
• 申請日: 2013-05-01
• 公開（公告）號: CN105164773A
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 小島洋一郎;末次健介
• 申請（專利權）人: 小島沖壓工業株式會社
• 主分類號: H01G4/18
• 分類號: H01G4/18;H01G4/30
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍;王大方

技術領域

本發明涉及蓄電設備及其制造方法以及制造裝置、以及薄膜電容器及其制造方法以及制造裝置，尤其涉及使用基本單元(具有交替層疊至少一層蓄電體膜和多層內部電極膜而形成的結構)構成的層疊型的蓄電設備、薄膜電容器的改良、和有利地制造上述層疊型蓄電設備、薄膜電容器的方法及裝置。

背景技術

一直以來，在各種電子設備、電氣設備中使用了電容器、二次電池等蓄電設備。而且，近年來，隨著針對電子設備、電氣設備的小型化的要求的提高，針對蓄電設備，也期待其結構的小型化。因此，在最近的電子設備、電氣設備中，逐漸使用了具有如下結構的可應對小型化的要求的蓄電設備，該蓄電設備使用具有交替層疊至少一層蓄電體膜和多層內部電極膜而形成的結構的層疊體構成。

即，在要求小型化的電子設備、電氣設備等中，作為蓄電設備的一種的電容器，例如，使用了日本特開平9－153434號公報(專利文獻1)中公開那樣的層疊型的薄膜電容器等。該薄膜電容器通過以下方式構成：使用將金屬化膜(在作為介電體膜的樹脂膜的單面上設置金屬蒸鍍膜而構成)以樹脂膜和金屬蒸鍍膜交替放置的方式層疊而構成的基本單元、或將金屬化膜(在樹脂膜的兩面上設置金屬蒸鍍膜而構成)和樹脂膜(沒有設置任何金屬蒸鍍膜)以樹脂膜和金屬蒸鍍膜交替放置的方式層疊而構成的基本單元，在上述基本單元中的金屬化膜的層疊方向兩側的面上，分別進一步層疊保護膜，由此形成一個薄膜電容器元件，而且，于在與上述一個薄膜電容器元件中的基本單元的層疊方向正交的方向上對應的兩個側面上，分別形成金屬噴鍍電極，由此構成薄膜電容器。

另外，例如在日本特開2011－181885號公報(專利文獻2)等中，還提出了可進一步小型化的薄膜電容器，其通過以下方式構成：在由能以納米級的膜厚進行成膜的蒸鍍聚合膜構成的介電體膜與金屬蒸鍍膜的基本單元的層疊方向兩側的面上，分別層疊保護膜而形成一個薄膜電容器元件，在該一個薄膜電容器元件的對應的兩個側面上，分別形成金屬噴鍍電極，由此構成薄膜電容器。

總之，作為蓄電設備中的一種的以往的層疊型薄膜電容器通常通過以下方式形成：在交替層疊至少一層作為蓄電體膜的介電體膜和多層由金屬蒸鍍膜形成的內部電極膜而形成的結構的基本單元的層疊方向兩側的面上，分別層疊電絕緣性的保護膜而得到一個薄膜電容器元件(蓄電元件)，使用該薄膜電容器元件(蓄電元件)，在該薄膜電容器元件的對應的兩個側面上，分別形成作為外部電極的金屬噴鍍電極。

另外，對于這樣的以往的層疊型薄膜電容器而言，通常通過基本單元中的介電體膜與金屬蒸鍍膜的層疊數來調節靜電電容。即，對于使用層疊金屬化膜而形成的基本單元構成的薄膜電容器而言，其靜電電容在一個薄膜電容器元件中由在2片保護膜之間層疊的金屬化膜的片數決定。因此，以往，例如對于使用了金屬化膜的層疊型薄膜電容器而言，當需要所要求的靜電電容的大小相互不同的多種層疊型薄膜電容器時，根據所要求的靜電電容的大小差異，準備金屬化膜的層疊片數相互不同的多種薄膜電容器。

然而，像這樣，對于僅具有一個薄膜電容器元件并根據該一個薄膜電容器元件中的金屬化膜的層疊片數(基本單元中的介電體膜與金屬蒸鍍膜的層疊數)的差異而可得到大小相互不同的靜電電容的薄膜電容器而言，根據其結構，存在如下所述的問題。

即，對于上述薄膜電容器而言，所需要的靜電電容越大，金屬化膜的層疊片數越要增多，一個薄膜電容器元件的尺寸就越要增大。因此，當需要靜電電容相互不同的多種薄膜電容器時，作為薄膜電容器元件制造裝置(能夠層疊金屬化膜而得到基本單元、并且在上述基本單元的層疊方向兩側的面上分別進一步層疊保護膜、而得到一個薄膜電容器元件)、以及在上述一個薄膜電容器元件的對應的兩個側面上分別形成金屬噴鍍電極的金屬噴鍍電極形成裝置，通常，可以使用在金屬化膜的層疊片數最多的薄膜電容器的制造中可使用的裝置。而且，通過輪流使用上述薄膜電容器元件制造裝置和金屬噴鍍電極形成裝置，從而分別制造、準備金屬化膜的層疊片數最多的薄膜電容器、和金屬化膜的層疊片數少于最多層疊片數的若干種薄膜電容器。因此，目標薄膜電容器的種類(靜電電容)改變時，必須進行繁瑣作業：變更薄膜電容器元件制造裝置中的金屬化膜的層疊片數的設定，以及還需要相應地變更必要設備、操作條件等。另外，由此，有可能會導致制造薄膜電容器的作業效率降低的問題。而且，還存在以下這樣的不良情況：當需要難以通過現有設備制造的程度的具有更大靜電電容的薄膜電容器時，需要新的設備。