[發(fā)明專利]X線裝置及構(gòu)造物的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380076108.2
• 申請(qǐng)日: 2013-05-10
• 公開（公告）號(hào): CN105452804A
• 公開（公告）日: 2016-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 渡部貴志;丹尼爾希爾頓;山姆豪克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康;尼康計(jì)量公眾有限公司
• 主分類號(hào): G01B15/04
• 分類號(hào): G01B15/04;G01N23/04
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種X線裝置，是對(duì)被檢物體照射X線并檢測(cè)通過該被檢物體的X線，其特征在于具備：

X線源，從發(fā)光點(diǎn)射出X線；

載臺(tái)，支承該被檢物體；

檢測(cè)器，檢測(cè)從該X線源射出、通過該被檢物體的穿透X線的至少一部分；

移動(dòng)裝置，為改變?cè)摪l(fā)光點(diǎn)與該被檢物體間的距離、或該發(fā)光點(diǎn)與該檢測(cè)器間的距離的至少一方的距離，而使該X線源、該載臺(tái)或該檢測(cè)器之一作為移動(dòng)物體移動(dòng)于第1方向；以及

第1測(cè)量裝置及第2測(cè)量裝置，是測(cè)量在該第1方向的該移動(dòng)物體的位置；

該第1測(cè)量裝置與該第2測(cè)量裝置，是配置在該移動(dòng)裝置的可移動(dòng)區(qū)域中與該第1方向交叉的第2方向；

該第1測(cè)量裝置及該第2測(cè)量裝置夾著該X線源的光軸配置；

該第1測(cè)量裝置的測(cè)量位置與該第2測(cè)量裝置的測(cè)量位置加以連結(jié)的線，是配置在以該檢測(cè)器檢測(cè)通過該被檢物體的穿透X線的區(qū)域內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X線裝置，其特征在于，該第1測(cè)量裝置及該第2測(cè)量裝置被該移動(dòng)裝置支承。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的X線裝置，其特征在于進(jìn)一步裝備了具有排列于該第1方向的圖案、固定配置的第1標(biāo)尺及第2標(biāo)尺；

該第1測(cè)量裝置檢測(cè)該第1標(biāo)尺的圖案，并且該第2測(cè)量裝置檢測(cè)該第2標(biāo)尺的圖案，據(jù)以測(cè)量該移動(dòng)物體在該第1方向的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的X線裝置，其特征在于進(jìn)一步具備引導(dǎo)該移動(dòng)裝置在該第1方向移動(dòng)的引導(dǎo)面；

在與支承該被檢物體的支承面正交方向，該第1測(cè)量裝置的該第1標(biāo)尺的測(cè)量位置及該第2測(cè)量裝置的該第2標(biāo)尺的測(cè)量位置與該引導(dǎo)面相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的X線裝置，其特征在于，該引導(dǎo)面進(jìn)一步具備第1引導(dǎo)面與第2引導(dǎo)面；

該第1引導(dǎo)面及該第2引導(dǎo)面夾著該X線源的光軸配置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的X線裝置，其特征在于，在連結(jié)該X線源的發(fā)光點(diǎn)與該檢測(cè)器接受該X線的受光面的外緣而形成的面、與該受光面圍繞的區(qū)域外側(cè)，配置該第1測(cè)量裝置及該第2測(cè)量裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的X線裝置，其特征在于具有運(yùn)算裝置，此運(yùn)算裝置是從該X線源對(duì)該載臺(tái)所保持的該被檢物體照射X線，該檢測(cè)器檢測(cè)通過該被檢物體的穿透X線的結(jié)果，算出該被檢物體的形狀。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的X線裝置，其特征在于具有運(yùn)算裝置，此運(yùn)算裝置是從該X線源對(duì)該載臺(tái)所保持的該被檢物體照射X線，該檢測(cè)器檢測(cè)通過該被檢物體的穿透X線的結(jié)果，算出該被檢物體的形狀。

9.一種構(gòu)造物的制造方法，其特征在于包含：

作成關(guān)于構(gòu)造物形狀的設(shè)計(jì)信息；

根據(jù)該設(shè)計(jì)信息制作該構(gòu)造物；

以制作的該構(gòu)造物為被檢物體，使用權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的X線裝置測(cè)量所制作的該構(gòu)造物的形狀；以及

比較該測(cè)量所得的形狀信息與該設(shè)計(jì)信息。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的構(gòu)造物的制造方法，其特征在于，是根據(jù)比較該形狀信息與該設(shè)計(jì)信息的比較結(jié)果，實(shí)施該構(gòu)造物的再加工。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的構(gòu)造物的制造方法，其特征在于，該再加工是根據(jù)該設(shè)計(jì)信息再制作該構(gòu)造物。