[發明專利]非燒蝕性激光圖案化

有效

• 申請號: 201380075745.8
• 申請日: 2013-09-18
• 公開（公告）號: CN105122387B
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: A·迪特里;R·J·馬丁森;K·格羅斯
• 申請（專利權）人: 恩耐公司
• 主分類號: H01C17/22
• 分類號: H01C17/22;H01C17/075;H01C17/26
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 王英

1.一種用于處理透明基板的方法，所述方法包括：

產生至少一種激光脈沖，所述激光脈沖具有被選擇用于將安置在所述透明基板上的具有小于或等于100nm的厚度并且包括銀納米線的導電層以非燒蝕性方式改變成包括銀納米線的不導電特征的激光參數；及

將所述脈沖導引到所述導電層，

其中所述激光參數包括200ps或小于200ps的脈沖長度和1.5J/cm²或小于1.5J/cm²的脈沖能量密度。

2.如權利要求1所述的方法，其中通過改變所述基板相對于入射脈沖的位置，所述脈沖的光斑尺寸在5到100μm的范圍內變化。

3.如權利要求1所述的方法，其中所述透明基板包括安置在所述基板的與所述導電層相對的表面上的保護膜，并且所述保護膜在所述導電層的非燒蝕性處理期間未被移除。

4.如權利要求1所述的方法，其中所述透明基板是由柔性聚對苯二甲酸亞乙酯材料制成的。

5.如權利要求1所述的方法，其中對于觀測者的肉眼來說，所述不導電特征相較于相鄰未處理的導電層是視覺上不可區別的或具有極低可見性。

6.如權利要求1所述的方法，其中所述脈沖被導向穿過所述透明基板到達所述導電層。

7.如權利要求1所述的方法，其中所述導電層的表面粗糙度在用所述激光脈沖處理之后實質上未改變。

8.如權利要求1所述的方法，其中所述導電層在經所述至少一種激光脈沖處理的區域中通過選擇性氧化機制而變為不導電的。

9.一種用于改變柔性透明基板上的銀納米線導電基質的薄層電阻的方法，所述方法包括：

產生至少一種激光脈沖，所述至少一種激光脈沖具有被選擇在用于增加所述導電基質的薄層電阻而不燒蝕所述銀納米線的范圍內的激光參數；及

將所述脈沖導引到所述導電基質以增加所述薄層電阻，

其中所述柔性透明基板包括安置在所述基板的與所述銀納米線導電基質相對的表面上的能夠移除并且能夠再附接的保護膜，并且所述保護膜在通過所述激光脈沖以非燒蝕性方式處理所述導電基質期間未被移除。

10.如權利要求9所述的方法，其中對于觀測者的肉眼來說，通過多個所述激光脈沖處理的區域相較于相鄰未處理的區域是視覺上不可區別的或具有極低可見性。

11.一種用具有選定參數的激光脈沖處理透明基板的方法，所述基板的特征在于，具有安置在所述基板的選定表面上的導電銀納米線，所述導電銀納米線能夠經歷用所述激光脈沖以非燒蝕性方式改變成不導電銀納米線，所述方法包括以下步驟：

產生至少一種具有所述選定參數的激光脈沖；及

將所述脈沖導引到所述基板上的所述導電銀納米線以產生所述改變成不導電銀納米線，

其中所述導電銀納米線位于有機外涂層中。

12.如權利要求11所述的方法，其中所述透明基板包括安置在所述基板的與所述導電銀納米線相對的表面上的保護膜，并且所述保護膜在所述導電銀納米線的非燒蝕性處理期間未被移除。

13.如權利要求11所述的方法，其中對于觀測者的肉眼來說，所述不導電銀納米線相較于未處理的導電銀納米線是視覺上不可區別的或具有極低可見性。

14.一種用脈沖激光束處理柔性透明基板的導電銀納米線層的方法，所述導電銀納米線層的特征在于，暴露于具有選定激光脈沖參數的激光脈沖使所述導電銀納米線變為不導電銀納米線，同時不會以燒蝕性方式移除所述銀納米線層，所述方法包括以下步驟：

產生至少一種具有所述選定激光脈沖參數的激光脈沖；及

將所述脈沖導引到所述基板的導電銀納米線層，而不將所述脈沖引導到過氧化層。