[發明專利]半導體裝置有效
| 申請號: | 201380074546.5 | 申請日: | 2013-03-13 |
| 公開(公告)號: | CN105190855B | 公開(公告)日: | 2017-09-19 |
| 發明(設計)人: | 織本憲宗;今井誠 | 申請(專利權)人: | 豐田自動車株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/52 | 分類號: | H01L21/52 |
| 代理公司: | 中原信達知識產權代理有限責任公司11219 | 代理人: | 熊傳芳,蘇卉 |
| 地址: | 日本愛知*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 裝置 | ||
1.一種半導體裝置,具備:
俯視觀察時呈矩形形狀的半導體元件;和
供半導體元件固定的被固定部件,
半導體元件被配置為其矩形形狀的面朝向被固定部件的表面,
半導體元件的矩形形狀的面的一部分由接合材料固定于被固定部件的表面,
在被固定部件的表面,在矩形形狀的面的角部所處的位置形成有三棱錐狀的凹陷,
半導體元件的矩形形狀的面的至少角部未固定于被固定部件的表面。
2.根據權利要求1所述的半導體裝置,其中,
當俯視觀察被固定部件時,所述凹陷的頂點位于所述凹陷中。
3.根據權利要求1所述的半導體裝置,其中,
所述凹陷的半導體元件的中心一側的面與被固定部件的表面形成的角度小于45°。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





