[發明專利]靜電容量式傳感器、聲音傳感器以及麥克風

有效

• 申請號: 201380074449.6
• 申請日: 2013-09-09
• 公開（公告）號: CN105191351B
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 井上匡志
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 董雅會;向勇

1.一種靜電容量式傳感器，其特征在于，具有：

基板，具有至少在上表面開設的空洞，

振動電極板，以覆蓋所述空洞的上表面的方式形成于所述基板的上方，

背板，以覆蓋所述振動電極板的方式形成于所述基板的上方，

固定電極板，配置在所述背板的下表面的與所述振動電極板相向的位置；

還具有腳片，所述腳片的整周被所述振動電極板包圍，并且，所述腳片的一部分與所述振動電極板結合，

所述腳片能夠被靜止構件支撐。

2.如權利要求1所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，所述腳片與所述振動電極板被狹縫分離。

3.如權利要求1所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，所述腳片位于所述振動電極板的外邊緣部。

4.如權利要求1所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，所述腳片從與所述振動電極板結合的位置向所述振動電極板的中心方向延伸。

5.如權利要求1所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，所述腳片從與所述振動電極板結合的位置向所述振動電極板的外周方向延伸。

6.如權利要求1所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，所述腳片能夠在與結合于所述振動電極板的位置一側相反的一側的端部通過固定構件被所述靜止構件支撐。

7.如權利要求1所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，從與所述基板的上表面垂直的方向觀察，所述空洞向所述腳片之間的區域伸出。

8.如權利要求1所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，

所述靜止構件是所述基板，

所述腳片通過固定構件固定于所述基板的上方。

9.如權利要求8所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，所述腳片與所述基板通過貫通所述固定構件的內部的導電部導通。

10.如權利要求1所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，

所述靜止構件是所述背板，

所述腳片能夠經由固定構件被所述背板的下表面支撐。

11.如權利要求1所述的靜電容量式傳感器，其特征在于，

所述靜止構件是所述固定電極板，

所述腳片能夠經由固定構件固定于所述固定電極板。

12.一種利用權利要求1～11中任一項所述的靜電容量式傳感器的聲音傳感器，其特征在于，

在所述背板以及所述固定電極板上形成有多個用于使聲音振動通過的孔。

13.一種麥克風，其特征在于，具有：

權利要求12所述的聲音傳感器，

將來自所述聲音傳感器的信號放大并向外部輸出的電路部。