[發明專利]真空閥

有效

• 申請號: 201380074253.7
• 申請日: 2013-09-12
• 公開（公告）號: CN105027248A
• 公開（公告）日: 2015-11-04
• 發明（設計）人: 原田貴和
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: H01H33/664
• 分類號: H01H33/664
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 胡曉萍

1.一種真空閥，包括：

固定側電極棒，該固定側電極棒固設于有底圓筒狀的真空容器的一方端部；

可動側電極棒，該可動側電極棒以能自由進退的方式設于所述真空容器的另一方端部；

環狀的固定側線圈電極及可動側線圈電極，該固定側線圈電極及可動側線圈電極分別設于所述固定側電極棒和所述可動側電極棒的相對端，并通過通電而在沿著所述固定側電極棒和所述可動側電極棒的軸線的方向上產生軸向磁場；以及

觸點，該觸點分別設于所述固定側線圈電極和所述可動側線圈電極的相對側，

其特征在于，

所述固定側線圈電極和所述可動側線圈電極包括：

環部，該環部與所述軸線同心地設于與所述軸線正交的平面上；

多根臂部，這些臂部從所述環部的外周朝外側延伸；

圓弧狀的線圈部，該線圈部從所述臂部的前端側朝周向折曲；以及

狹縫部，該狹縫部分割所述線圈部，

所述固定側線圈電極的臂部和所述可動側線圈電極的臂部以從所述固定側電極棒及所述可動側電極棒的軸向觀察時彼此重疊的方式朝相同方向配置。

2.一種真空閥，包括：

固定側電極棒，該固定側電極棒固設于有底圓筒狀的真空容器的一方端部；

可動側電極棒，該可動側電極棒以能自由進退的方式設于所述真空容器的另一方端部；

環狀的固定側線圈電極及可動側線圈電極，該固定側線圈電極及可動側線圈電極分別設于所述固定側電極棒和所述可動側電極棒的相對端，并通過通電而在沿著所述固定側電極棒和所述可動側電極棒的軸線的方向上產生軸向磁場；

觸點，該觸點分別設于所述固定側線圈電極和所述可動側線圈電極的相對側；以及

支承構件，該支承構件分別設于所述觸點的背面側，并對軸向的強度進行加強，

其特征在于，

所述固定側線圈電極和所述可動側線圈電極包括：

環部，該環部與所述軸線同心地設于與所述軸線正交的平面上；

多根臂部，這些臂部從所述環部的外周朝外側延伸；

圓弧狀的線圈部，該線圈部從所述臂部的前端側朝周向折曲；

狹縫部，該狹縫部分割所述線圈部；以及

突出部，該突出部設于所述線圈部的前端側并與所述觸點接合，

所述狹縫部以從所述固定側電極棒及所述可動側電極棒的軸向觀察時、從所述臂部與所述突出部的交點朝所述線圈部的外徑中所述臂部的中央側傾斜的方式形成。

3.如權利要求2所述的真空閥，其特征在于，

所述固定側線圈電極和所述可動側線圈電極被配置成各自的所述臂部重疊。

4.如權利要求1至3中任一項所述的真空閥，其特征在于，

當將所述臂部的寬度設為W時，所述狹縫部從所述臂部與所述突出部的交點傾斜地形成至所述線圈部的外徑處的相對于所述交點處在W/2以上且W以下的范圍內的位置。

5.如權利要求1至3中任一項所述的真空閥，其特征在于，

當將所述臂部的寬度設為W時，所述狹縫部從所述臂部與所述突出部的交點傾斜地形成至所述線圈部的外徑處的距所述交點為W/2的位置，以所述狹縫部對齊的方式配置所述固定側線圈電極和所述可動側線圈電極的位置。