[發明專利]靜電電容型壓力傳感器及輸入裝置在審
| 申請號： | 201380074229.3 | 申請日： | 2013-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN105008880A | 公開（公告）日： | 2015-10-28 |
| 發明（設計）人： | 井上勝之;奧野敏明;古村由幸 | 申請（專利權）人： | 歐姆龍株式會社 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14;G01L5/00;G06F3/044;H01L29/84 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 金相允;向勇 |
| 地址： | 日本京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 電容 壓力傳感器 輸入 裝置 | ||
1.一種靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，具備：
固定電極，
電介質層，其形成于所述固定電極的上方，以及
導電性的膜片，其隔著空隙形成于所述電介質層的上方；
在所述電介質層的與所述膜片對置的對置區域，電介質層在以所述對置區域的中央為中心的圓周上的存在比率會根據與所述對置區域的中央相隔的距離而變化。
2.根據權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
電介質層在所述對置區域的中央部與外周部的中間的存在比率小于電介質層在所述對置區域的中央部的存在比率。
3.根據權利要求2所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
電介質層在所述對置區域的外周部的存在比率大于電介質層在所述對置區域的中央部與外周部的中間的存在比率。
4.根據權利要求3所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
電介質層在所述對置區域的外周部的存在比率小于電介質層在所述對置區域的中央部的存在比率。
5.根據權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
在所述電介質層的所述對置區域設置開口，
根據與所述對置區域的中央相隔的距離來使所述開口的比率變化，從而使電介質層的存在比率變化。
6.根據權利要求5所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
以所述對置區域的中央為中心，放射狀地形成所述電介質層的開口。
7.根據權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
在所述對置區域，根據與所述對置區域的中央相隔的距離來使所述電介質層的厚度變化，從而使電介質層的存在比率變化。
8.根據權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
根據與所述對置區域的中央相隔的距離，將所述對置區域劃分為多個區間，并在各區間將電介質層的存在比率設定為恒定。
9.一種輸入裝置，其特征在于，是將權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器排列多個而成的。
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