[發明專利]基于MEMS的隔膜傳感器系統和使用方法

在審

• 申請號: 201380073654.0
• 申請日: 2013-12-02
• 公開（公告）號: CN105073649A
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: A.查特吉;A.巴塔查里亞;S.錢德拉塞卡蘭
• 申請（專利權）人: 通用電氣公司
• 主分類號: C02F1/44
• 分類號: C02F1/44;B01D61/12;B01D63/10;B01D63/12
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 葉曉勇;姜甜

技術領域

本發明涉及基于MEMS(微機電系統)的隔膜元件感測和監測，更具體來說涉及基于MEMS傳感器、系統以及監測反滲透(RO)和納米過濾(NF)隔膜元件的方法。

背景技術

反滲透(RO)或納米過濾(NF)隔膜元件的阻塞或機械故障能夠導致基于隔膜的凈水設備的相當大的停工期。存在用來識別隔膜元件機械故障或者隔膜元件阻塞量的若干脫機光學和聲學裝置及方法。但是，這些裝置和方法不能提供脫機監測，并且是費用高和費時的。相應地，需要一種隔膜元件機械故障和阻塞傳感器系統，以識別機械故障的存在以及隔膜元件中的阻塞的存在和量。此外，需要一種使用傳感器系統來幫助確保機械故障和/或阻塞的隔膜元件的及時清潔和/或更換的方法。

發明內容

在本發明的一個方面，一種用于基于隔膜的水過濾設備的MEMS傳感器系統包括：遠程遙測單元(RTU)、SCADA和多個MEMS傳感器，用于測量流的壓力、流率和傳導性；水過濾設備包括列，所述列包括包含多個隔膜元件的隔膜管；隔膜元件接收饋送流，并且產生濃縮流和滲透流；隔膜元件串聯設置，從而創建各隔膜元件之間的接口；MEMS傳感器測量隔膜接口處的饋送流、濃縮流和滲透流的流率、壓力和傳導性；隔膜管接收饋送流，并且產生滲透流和濃縮流；常規壓力傳感器測量隔膜管滲透、濃縮和饋送流的壓力；常規傳導性傳感器測量隔膜管滲透、濃縮和饋送流的傳導性；常規流量傳感器測量隔膜管滲透、濃縮和饋送流的流率；常規溫度傳感器測量隔膜管饋送流的溫度；RTU與MEMS傳感器和SCADA進行通信，以向SCADA提供MEMS傳感器和傳導性測量，RTU與MEMS傳感器無線通信；常規傳感器直接向SCADA提供測量；其中SCADA使用MEMS傳感器和學會傳感器測量來識別受損隔膜元件。

在本發明的另一方面，該系統通過使用MEMS傳感器和常規傳感器測量以計算各隔膜元件的歸一化滲透流率、歸一化差壓和歸一化鹽透過率，并且將各隔膜元件的所計算的歸一化滲透流率、歸一化差壓和歸一化鹽透過率與參考條件下的各隔膜元件的歸一化滲透流率、歸一化差壓和歸一化鹽透過率進行比較，來識別受損隔膜元件。

在本發明的另一方面，該系統通過使用常規傳感器測量以計算隔膜管的歸一化滲透流率、歸一化差壓和歸一化鹽透過率，并且將隔膜管的所計算的歸一化滲透流率、歸一化差壓和歸一化鹽透過率與參考條件下的隔膜管的歸一化滲透流率、歸一化差壓和歸一化鹽透過率進行比較，來識別受損隔膜管。

在本發明的另一方面，當隔膜元件的所計算的歸一化滲透流量比參考條件下的隔膜元件的歸一化滲透流量要小至少大約5%時，將隔膜元件識別為受損；其中當隔膜元件的所計算的歸一化差壓比參考條件下的隔膜元件的歸一化壓差要大至少大約5%時，將隔膜元件識別為受損；其中當隔膜元件的所計算的歸一化鹽透過率比參考條件下的隔膜元件的歸一化鹽透過率要大至少大約5%時，將隔膜元件識別為受損；其中當隔膜管的所計算的歸一化滲透流量比參考條件下的隔膜管的歸一化滲透流量要小至少大約5%時，將隔膜管識別為受損；其中當隔膜管的所計算的歸一化差壓比參考條件下的隔膜管的歸一化壓差要大至少大約5%時，將隔膜管識別為受損；其中當隔膜管的所計算的歸一化鹽透過率比參考條件下的隔膜管的歸一化鹽透過率要大至少大約5%時，將隔膜管識別為受損。

在本發明的另一方面，MEMS傳感器的每個由流量傳感器、壓力傳感器或者傳導性傳感器中的至少一個來組成。

在本發明的另一方面，MEMS傳感器的每個由可拆卸智能傳感器結構(RSSS)和控制/數據收發器芯片(CDTC)來組成；RSSS由智能部件以及壓力傳感器或傳導性傳感器中的至少一個來組成；其中智能部件由線圈、電壓調節器、感應收發器、非易失性存儲器、微處理器和轉換電路來組成；其中CDTC由線圈、感應收發器和RF收發器來組成。

在本發明的另一方面，MEMS傳感器的每個由CDTC中的電池來供電或者由RTU無線地供電。

在本發明的另一方面，MEMS傳感器的每個采用智能電力或智能監測的一個或兩者。

在本發明的另一方面，MEMS傳感器的每個包含內務信息。

在本發明的另一方面，MEMS傳感器的每個安裝到隔膜元件的防伸縮裝置(ATD：Anti-TelescopingDevice)，其中MEMS傳感器安裝在ATD的壓力配合槽或扣件槽中。