[發明專利]細微圖案化用表面化學處理裝置

有效

• 申請號: 201380073044.0
• 申請日: 2013-02-14
• 公開（公告）號: CN104994964B
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 內山一美;中嶋秀;楊明;曾湖烈;菅原義之;西本尚弘
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所;公立大學法人首都大學東京;學校法人早稻田大學
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B01J19/00;B05B15/04
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇,張會華

1.一種細微圖案化用表面化學處理裝置，其用于對置于氣相或液相中的固相的表面實施所需圖案的化學處理，其特征在于，

該細微圖案化用表面化學處理裝置包括：第1管路，其一端開口，另一端與供給用于與上述固相的表面反應而對該表面進行化學處理的圖案化溶液的液體供給單元連通；鞘液供給用管路，其用于通過朝向上述第1管路供給鞘液從而在該第1管路中形成鞘液流而使上述圖案化溶液聚集在中央；第2管路，其一端以包圍上述第1管路的開口的周圍的方式開口，另一端與液體抽吸單元連通；以及移動機構，在使該第1管路的開口和該第2管路的開口在上述氣相或上述液相中與上述固相的表面相對的狀態下，該移動機構使各上述開口與上述固相進行相對移動，

自上述液體供給單元向上述第1管路內供給上述圖案化溶液，且通過自上述鞘液供給用管路供給上述鞘液而使上述圖案化溶液聚集在中央，使該圖案化溶液自該第1管路的開口排出，并且一邊利用上述液體抽吸單元的驅動經由上述第2管路的開口而將自上述第1管路的開口排出的圖案化溶液與上述氣相或上述液相一起抽吸，一邊使上述第1管路的開口和上述第2管路的開口與上述固相進行相對移動從而形成所需圖案的化學處理區域。

2.根據權利要求1所述的細微圖案化用表面化學處理裝置，其特征在于，

上述移動機構為用于使各上述開口與上述固相在三維方向上相對移動的機構，按照由設定單元預先設定的路徑使上述開口與上述固相進行相對移動。

3.根據權利要求1或2所述的細微圖案化用表面化學處理裝置，其特征在于，

上述第1管路和上述第2管路、或上述第1管路和上述第2管路以及上述鞘液供給用管路由使用Si形成的結構體構成。