[發(fā)明專利]用于穩(wěn)定化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器中的纖絲的方法及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380072800.8
• 申請日: 2013-12-19
• 公開（公告）號(hào): CN104981560A
• 公開（公告）日: 2015-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦文軍;C·費(fèi)羅;A·D·羅茲;J·C·古姆
• 申請（專利權(quán)）人: GTAT公司
• 主分類號(hào): C23C16/24
• 分類號(hào): C23C16/24;C23C16/44;C01B33/035
• 代理公司: 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉

1.一種化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器系統(tǒng)，其包含：

包含多個(gè)電連接的底板；

自該底板延伸的纖絲對，各纖絲(i)與該等電連接中的兩者電接觸且(ii)在該兩個(gè)電連接間界定導(dǎo)電路徑；以及

連接該纖絲對的穩(wěn)定件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件包含電絕緣材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件包含至少一個(gè)電絕緣連接件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件進(jìn)一步包含至少一個(gè)支撐桿。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中，該電絕緣連接件包含至少一個(gè)用于承接該至少一個(gè)支撐桿的插口。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件包含由中心電絕緣連接件接合的兩個(gè)外部支撐桿。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，該等外部支撐桿中的至少一者包含硅。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，該中心電絕緣連接件包含石英或氮化硅中的至少一者。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件的長度可調(diào)節(jié)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，各纖絲包含：

兩個(gè)垂直纖絲片段，各垂直片段包含與該等電連接中的一者電接觸的近端，及遠(yuǎn)端；以及

在該遠(yuǎn)端連接該兩個(gè)垂直纖絲片段的橋。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件在該等垂直纖絲片段中的一者的該遠(yuǎn)端附近連接于該等纖絲中的至少一者。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件在該橋處連接于該等纖絲中的至少一者。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件與該橋間的穩(wěn)定件角選自約20度至約160度的范圍。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件角選自約80度至約100度的范圍。

15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，各纖絲實(shí)質(zhì)上為U形。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該穩(wěn)定件及該纖絲對經(jīng)配置以界定環(huán)或部分環(huán)中的至少一者。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中，該至少一個(gè)環(huán)或部分環(huán)包含超過兩個(gè)纖絲及超過一個(gè)穩(wěn)定件。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包含第二纖絲對及連接該第二纖絲對的第二穩(wěn)定件，其中，該纖絲對經(jīng)配置以在第一電相位起作用，且該第二纖絲對經(jīng)配置以在第二電相位起作用。

19.一種穩(wěn)定化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器中的纖絲的方法，該方法包含以下步驟：

提供自該化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器中的底板延伸的纖絲對，該底板包含多個(gè)電連接，各纖絲(i)與該等電連接中的兩者電接觸且(ii)在該兩個(gè)電連接間界定導(dǎo)電路徑；以及

連接該纖絲對與至少一個(gè)穩(wěn)定件。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，該穩(wěn)定件包含電絕緣材料。

21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，該穩(wěn)定件包含至少一個(gè)電絕緣連接件。

22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中，該穩(wěn)定件進(jìn)一步包含至少一個(gè)支撐桿。

23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中，該電絕緣連接件包含至少一個(gè)用于承接該至少一個(gè)支撐桿的插口。

24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，該穩(wěn)定件包含由中心電絕緣連接件接合的兩個(gè)外部支撐桿。

25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中，該等外部支撐桿中的至少一者包含硅。

26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中，該中心電絕緣連接件包含石英或氮化硅中的至少一者。

27.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，該穩(wěn)定件的長度可調(diào)節(jié)。

28.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，各纖絲包含：

兩個(gè)垂直纖絲片段，各垂直片段包含與該等電連接中的一者電接觸的近端，及遠(yuǎn)端；以及

在該遠(yuǎn)端連接該兩個(gè)垂直纖絲片段的橋。