[發明專利]貼合器件的制造裝置

在審

• 申請號: 201380070869.7
• 申請日: 2013-12-04
• 公開（公告）號: CN104937652A
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 大谷義和
• 申請（專利權）人: 信越工程株式會社
• 主分類號: G09F9/00
• 分類號: G09F9/00;H01L21/02;H01L21/677
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 嚴鵬

1.一種貼合器件的制造裝置，將被搬入到變壓室的第一工件及第二工件分別交接到第一保持部件及第二保持部件，并在被減壓的所述變壓室中使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任意一方或雙方相對地靠近移動，來貼合所述第一工件與所述第二工件，所述貼合器件的制造裝置的特征在于，具備：

所述變壓室，取放自如地容納所述第一工件及所述第二工件；

所述第一保持部件及所述第二保持部件，設置成在所述變壓室中朝向工件貼合方向彼此相對；

貼合用驅動部，使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任意一方或雙方以向所述工件貼合方向相對地靠近或遠離的方式移動；

工件交接用的交接部件，設置成穿過設置于所述變壓室的貫穿孔而向所述工件貼合方向移動自如；

閉鎖部件，設置成以氣密狀地開閉所述變壓室的所述貫穿孔的方式移動自如；及

控制部，分別對所述貼合用驅動部、所述交接部件的交接用驅動部及所述閉鎖部件的閉鎖用驅動部進行動作控制，

所述控制部控制為，在搬入工件時使所述閉鎖部件進行打開移動，以使所述貫穿孔開口，并且為了交接工件而移動所述交接部件，在貼合工件時，從所述貫穿孔拔出所述交接部件，并使所述閉鎖部件進行關閉移動，以使所述貫穿孔被以氣密狀閉鎖。

2.根據權利要求1所述的貼合器件的制造裝置，其特征在于，

所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任意一方或雙方具有通孔，所述通孔與所述變壓室的所述貫穿孔向所述工件貼合方向被配置成同軸狀，

所述交接部件具有保持工件用卡盤部，所述卡盤部通過所述交接用驅動部插通所述貫穿孔及所述通孔，使其朝向被搬入到所述變壓室的所述第一工件或所述第二工件中的任意一方或雙方移動并保持，完成所述工件交接之后，使所述卡盤部從所述通孔及所述貫穿孔拔出并移動。

3.根據權利要求1或2所述的貼合器件的制造裝置，其特征在于，

所述閉鎖部件具有蓋體，所述蓋體設置成沿著所述變壓室的底壁部或頂棚部中的任意一方或雙方向與所述工件貼合方向交叉的方向開閉移動自如，通過所述閉鎖用驅動部，使所述蓋體朝向所述交接部件被拔出移動的所述貫穿孔進行關閉移動。

4.根據權利要求1或2所述的貼合器件的制造裝置，其特征在于，

所述閉鎖部件具有蓋體，所述蓋體設置成朝向所述變壓室的底壁部或頂棚部中的任意一方或雙方轉動自如，通過所述閉鎖用驅動部，使所述蓋體朝向所述交接部件被拔出移動的所述貫穿孔進行關閉移動。

5.根據權利要求2～4中任一項所述的貼合器件的制造裝置，其特征在于，

所述交接部件具有軸部，所述軸部的前端設置有所述卡盤部并插通所述變壓室的所述貫穿孔，將導向部件與所述貫穿孔向所述工件貼合方向設置成同軸狀，所述導向部件向所述工件貼合方向移動自如地引導所述軸部。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的貼合器件的制造方法，其特征在于，

將形成有所述變壓室的腔室向所述工件貼合方向分割為在內部具備所述第一保持部件的第一腔室及在內部具備所述第二保持部件的第二腔室，設置反轉機構，所述反轉機構使所述第一腔室或所述第二腔室中的任意一方朝向另一方并向所述工件貼合方向反轉自如地移動，將反轉成所述第一腔室與所述第二腔室均向所述工件貼合方向開口的打開移動位置作為搬入位置，在所述搬入位置中，朝向所述第一保持部件搬入所述第一工件，并且朝向所述第二保持部件搬入所述第二工件，將反轉成所述第一腔室與所述第二腔室向所述工件貼合方向重疊的關閉移動位置作為貼合位置，在所述貼合位置中，所述第一工件與所述第二工件被貼合。

7.根據權利要求6所述的貼合器件的制造裝置，其特征在于，

具備對位機構，其在所述搬入位置，使作為所述交接部件由第一交接部件接收的所述第一工件或由第二交接部件接收的所述第二工件中的任意一方相對于另一方相對移動，從而向所述工件貼合方向進行對位，

所述對位機構具有：檢測部，檢測由所述第一交接部件接收的所述第一工件及由所述第二交接部件接收的所述第二工件的位置；及對位用驅動部，根據來自所述檢測部的位置數據，使所述第一交接部件或所述第二交接部件中的任意一方或雙方向與所述工件貼合方向交叉的方向相對移動。