[發明專利]吸附裝置

有效

• 申請號: 201380070016.3
• 申請日: 2013-01-15
• 公開（公告）號: CN104918757B
• 公開（公告）日: 2016-10-19
• 發明（設計）人: 河田茂;新開昇
• 申請（專利權）人: 名幸電子有限公司
• 主分類號: B25J15/06
• 分類號: B25J15/06;H05K13/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 韓俊

技術領域

本發明涉及一種用于吸附并保持基板的吸附裝置。

背景技術

當在基板制造工藝中處理基板時，使用對基板那樣的板材進行吸附保持的吸附裝置(例如參照專利文獻1)。在專利文獻1那樣的吸附裝置中，通過吸引空氣而利用負壓對板材進行吸附保持。詳細而言，專利文獻1的吸附裝置包括能在進行吸引的孔內自由移動的閥芯，該閥芯利用在重力作用下進行的動作，來實現用負壓對板材的保持。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2005－28489號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

但是，上述那樣利用重力作用的方式，僅能在吸引孔朝向下方的情況下使用。當將板材設于上側而朝向上方時，閥芯因重力而下降，會將負壓室與板材之間封閉，從而無法對板材進行吸引保持。

本發明是在考慮上述現有技術后進行而做成的，其目的在于提供一種無論空氣對作為吸附對象物的板材(基板)的吸引方向為何種朝向，都能可靠地對吸附對象物進行吸引保持的吸附裝置。

解決技術問題所采用的技術方案

為了實現上述目的，在本發明中，提供一種吸附裝置，其特征是，包括：吸附部，上述吸附部與吸附對象物抵接，并形成有多個吸引孔；側壁及頂壁，上述側壁及頂壁與該吸附部協同作用而形成大致密閉的負壓室；銷形狀的閥芯，上述閥芯從上述負壓室延伸到上述吸引孔內；以及封閉部，上述封閉部因該閥芯在上述吸引孔內滑動而使上述閥芯的一部分與上述吸引孔的內壁的一部分緊密接觸，來將上述吸引孔封閉，上述閥芯具有位于上述負壓室內的一方的端部、即根部，該根部固定在具有撓性的板形狀的撓性體上，上述撓性體在上述負壓室內跨設并固定在上述側壁間，上述撓性體具有多個通孔。

理想的是，在上述吸附對象物側露出的上述吸引孔的開口部的孔徑為2mm以下。

理想的是，上述吸引孔的軸線間的間隔為3mm以下。

發明效果

根據本發明，由于將閥芯形成為銷形狀，并將該閥芯的根部固定在負壓室內，因此，閥芯不會因重力而在吸引孔內自由移動。因而，無論空氣對作為吸附對象物的板材(基板)的吸引方向為何種朝向，都能防止閥芯因重力而發生移動來使吸引孔被封閉部封閉。因而，能夠可靠地對吸附對象物進行吸引保持。另外，即使吸附對象物存在與吸引孔連通而與吸附對象物的外部連通的部分(連通部)，由于閥芯的根部被固定在具有撓性的撓性體上，因此，在進行吸引時，撓性體發生撓曲而使閥芯移動，利用封閉部將該吸引孔封閉，因而，能夠維持負壓室內的負壓而可靠地對吸附對象物進行吸引保持。另外，由于在撓性體中設置有多個通孔，因此負壓室不會被撓性體封閉，能夠可靠地確保從吸引泵到吸引孔的吸引路徑，仍然能夠可靠地對吸附對象物進行吸引保持。

另外，通過將開口部的孔徑設置為2mm以下，能夠減小各吸引孔的吸附力。因此，即使將吸附對象物層疊，而使吸引孔與位于更外側的其它吸附對象物經由上述連通部相通，也不會對其它吸附對象物進行吸引。因而，能提高處理性。另外，確認到通過形成為這種小徑的吸引孔，即使是較薄的玻璃基板，也不會產生經過吸引孔而帶來的吸引痕跡。

另外，通過將吸引孔的軸線間的間隔設置為3mm以下，使吸引孔變得密集。確認到通過形成為這種間隔，即使吸附對象物存在許多個上述連通部，也能將本發明應用于該吸附對象物而對該吸附對象物進行吸引保持。

附圖說明

圖1是表示本發明的吸附裝置的一例的示意圖。

圖2是表示本發明的吸附裝置的一例的放大示意圖。

圖3是吸附部的示意圖。

具體實施方式

如圖1及圖2所示，本發明的吸附裝置1具有吸附部2、側壁3及頂壁4。在本例中，吸附部2是將片材5、6、7層疊而形成的三層結構。在各片材5、6、7上形成有多個貫穿該片材5、6、7的通孔，這些通孔彼此連通而形成吸引孔8。因而，在吸附部2中形成有多個吸引孔8。片材5、6例如由丙烯酸制的板材形成。片材7由于與所要吸引保持的作為吸附對象物的基板9抵接，因此，理想的是橡膠制的橡膠片。