[發明專利]在注油過程期間防止玻璃粒子注入

有效

• 申請號: 201380068506.X
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN104884991A
• 公開（公告）日: 2015-09-02
• 發明（設計）人: E·E·菲克三世;T·J·布洛斯妮漢
• 申請（專利權）人: 皮克斯特隆尼斯有限公司
• 主分類號: G02B26/02
• 分類號: G02B26/02;B81B7/00;B81B3/00;B81C1/00
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

技術領域

本發明涉及機電系統(EMS)和裝置，且更特定來說，本發明涉及防止粒子進入EMS顯示裝置。

背景技術

機電系統(EMS)包含具有電和機械元件、致動器、感測器、傳感器、光學組件(例如鏡和光學膜)和電子裝置的裝置。可依各種尺度(其包含(但不限于)微尺度和納米尺度)制造EMS裝置或元件。例如，微機電系統(MEMS)裝置可包含具有在約1微米到數百微米或更大范圍內的大小的結構。納機電系統(NEMS)裝置可包含小于1微米的大小(其包含(例如)小于數百納米的大小)的結構。可使用沉積、蝕刻、光刻和/或其它微機械加工過程(其蝕除襯底和/或經沉積材料層的部分，或添加若干層以形成電裝置和機電裝置)來產生機電元件。

并入有MEMS光調制器的裝置可包含數百、數千或在一些情況中數百萬個移動元件。當一裝置中的移動元件失效時，所述裝置最終無法適當運行。移動元件失效的一個原因是靜摩擦。在一些裝置中，元件的每一移動給靜摩擦提供機會以使元件的一或多者失效。通過使所有部件浸入工作流體(也稱為流體)中且將所述流體密封于MEMS單元的流體空間或間隙內而促進此移動且減少靜摩擦。所述流體通常為長期具有低摩擦系數、低粘度和最小降級效應的流體。識別數千或數百萬個移動元件的各種失效原因且降低失效率可增加裝置壽命。

盡管此流體可有助于減少摩擦以增加裝置壽命，但所述流體也會產生問題。例如，臟流體可引入沉積于裝置的移動部件內的粒子以及其它問題。

因而，仍需要改進可移動EMS裝置的壽命的系統和方法。

發明內容

本發明的系統、方法和裝置各具有若干創新方面，其中的單一者不單獨負責本文中所揭示的所要屬性。

本發明中所描述的標的物的一創新方面可實施于一種設備中，所述設備包含：板；襯底，其支撐至少一機電系統(EMS)裝置；密封件，其接合所述板和所述襯底以在其間界定腔和用于接收流體的至少一端口；以及過濾器，其安置于所述端口與所述EMS裝置之間且具有形成于所述襯底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，所述元件界定間隙，所述間隙經設定大小以容許所述所接收的流體通過且抑制所述流體中所載送的非流體粒子進入所述EMS裝置。

在一些實施方案中，所述元件可包含形成于襯底上的多個相鄰柱，且所述柱經橫向隔開以提供所界定的間隙。在一些實施方案中，所述元件可包含一體地形成于襯底的表面和板的表面的至少一者上以形成障壁的一部分的間隔件。所述元件可包含至少兩個壁，其經隔開以形成通道以抵著至少一壁而導引所接收流體的流。

在一些實施方案中，所述元件可包含形成于板上的第一壁和形成于襯底上的第二壁。所述第一壁與所述第二壁之間的間隔可界定間隙。在一些實施方案中，所述元件包含形成于板上的第一壁和形成于襯底上的第二壁，且所述第一壁和所述第二壁形成以至少一端口為中心的同心壁。

本發明中所描述的標的物的另一創新方面可實施于一種制造填充流體裝置的方法中，所述方法包含：提供板；提供襯底，其中所述襯底具有機電系統(EMS)裝置，且其中所述板和所述襯底的至少一者包含過濾器，且通過在所述襯底的表面和所述板的表面的至少一者上提供一體形成的過濾器元件，且將所述過濾器元件定位于所述襯底或所述板的外圍邊緣附近，且使所述過濾器元件間隔以界定經設定大小以抑制碎屑通過所述過濾器元件的間隙而形成所述過濾器。在一些實施方案中，碎屑可包含任何非流體粒子。

在一些實施方案中，形成過濾器元件可包含：在襯底上形成多個柱。在一些實施方案中，形成過濾器元件可包含：在板的表面上一體地形成間隔件。所述間隔件接觸襯底和形成于襯底上的至少一間隔件的至少一者。形成所述間隔件可包含：形成至少兩個壁以形成具有轉彎以抵著所述兩個壁的至少一者而導引流體流的通道。在一些實施方案中，形成過濾器元件可包含：在板上形成第一壁和在襯底上形成第二壁，且當將板與襯底接合時，所述第一壁和所述第二壁經橫向相鄰地安置以形成障壁。

本發明的標的物的另一創新方面可實施于一種設備中，所述設備包含：板；襯底，其支撐形成于其上的至少一機電系統(EMS)裝置；密封件，其接合所述板和所述襯底以在所述板與所述襯底之間界定腔和用于接收到所述腔中的流體的至少一端口；以及用于過濾在所述至少一端口處注入到所述腔中的所述流體的裝置。用于過濾的所述裝置一體地形成于所述襯底的表面和所述板的表面的至少一者上，且用于過濾的所述裝置抑制所述流體中的非流體粒子進入所述至少一EMS裝置。