[發(fā)明專利]光學(xué)元件、投影裝置和光學(xué)元件的制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380068482.8 | 申請日: | 2013-12-25 |
| 公開(公告)號: | CN104871043A | 公開(公告)日: | 2015-08-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 宮坂浩司;山下周一 | 申請(專利權(quán))人: | 旭硝子株式會社 |
| 主分類號: | G02B5/02 | 分類號: | G02B5/02;G03B21/00;G03B21/14;H04N5/74 |
| 代理公司: | 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 劉新宇;張會華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 光學(xué) 元件 投影 裝置 制造 方法 | ||
1.一種光學(xué)元件,其特征在于,
在基材的表面形成有多個凹部,
所述凹部具有由曲面形成的曲面部,
多個所述凹部形成為:所述凹部的底部的位置在深度方向上為兩個以上的不同的位置,
在將所述基材的折射率設(shè)為n1、將所述基材的周圍的介質(zhì)的折射率設(shè)為n2、將向所述基材入射的光束的波長設(shè)為λ并且將多個所述凹部的底部的深度方向上的范圍設(shè)為Δd的情況下,
2/7≤|(n1-n2)×Δd|/λ≤10。
2.一種光學(xué)元件,其特征在于,
在基材的表面形成有多個凸部,
所述凸部具有由曲面形成的曲面部,
多個所述凸部形成為:所述凸部的頂峰部的位置在高度方向上為兩個以上的不同的位置,
在將所述基材的折射率設(shè)為n1、將所述基材的周圍的介質(zhì)的折射率設(shè)為n2、將向所述基材入射的光束的波長設(shè)為λ并且將多個所述凸部的頂峰部的高度方向上的范圍設(shè)為Δd的情況下,
2/7≤|(n1-n2)×Δd|/λ≤10。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)元件,其特征在于,
所述光學(xué)元件透射光。
4.一種光學(xué)元件,其特征在于,
在基材的表面形成有多個凹部,
所述凹部具有由曲面形成的曲面部,
多個所述凹部形成為:所述凹部的底部的位置在深度方向上為兩個以上的不同的位置,
在將所述基材的周圍的介質(zhì)的折射率設(shè)為n2、將向所述基材的光束入射的波長設(shè)為λ并且將多個所述凹部的底部的深度方向上的范圍設(shè)為Δd的情況下,
2/7≤|2×n2×Δd|/λ≤10。
5.一種光學(xué)元件,其特征在于,
在基材的表面形成有多個凸部,
所述凸部具有由曲面形成的曲面部,
多個所述凸部形成為:所述凸部的頂峰部的位置在高度方向上為兩個以上的不同的位置,
在將所述基材的周圍的介質(zhì)的折射率設(shè)為n2、將向所述基材入射的光束的波長設(shè)為λ并且將多個所述凸部的頂峰部的高度方向上的范圍設(shè)為Δd的情況下,
2/7≤|2×n2×Δd|/λ≤10。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的光學(xué)元件,其特征在于,
所述光學(xué)元件反射光。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的光學(xué)元件,其特征在于,
所述底部按預(yù)定的周期排列。
8.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的光學(xué)元件,其特征在于,
所述頂峰部按預(yù)定的周期排列。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的光學(xué)元件,其特征在于,
所述底部不規(guī)則地形成,
在由二等分線包圍的區(qū)域內(nèi)存在有一個所述底部,該二等分線是所述底部按預(yù)定的周期排列的情況下的、相鄰的點之間的二等分線。
10.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的光學(xué)元件,其特征在于,
所述頂峰部不規(guī)則地形成,
在由二等分線包圍的區(qū)域內(nèi)存在有一個所述頂峰部,該二等分線是所述頂峰部按預(yù)定的周期排列的情況下的、相鄰的點之間的二等分線。
11.根據(jù)權(quán)利要求1、4、7、9中任意一項所述的光學(xué)元件,其特征在于,
所述底部具有平坦部。
12.根據(jù)權(quán)利要求2、5、8、10中任意一項所述的光學(xué)元件,其特征在于,
所述頂峰部具有平坦部。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的光學(xué)元件,其特征在于,
所述平坦部包括兩種以上大小的平坦部。
14.一種投影裝置,其中,
該投影裝置包括:
權(quán)利要求1~13中任意一項所述的光學(xué)元件;以及
光源,其用于射出向所述光學(xué)元件入射的光。
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