[發(fā)明專利]確定光刻中基板的位置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380068339.9
• 申請(qǐng)日: 2013-10-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104885014A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: G.德博爾;N.弗吉爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 邁普爾平版印刷IP有限公司
• 主分類號(hào): G03F9/00
• 分類號(hào): G03F9/00;H01J37/304;H01J37/317
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 高巍

1.一種基板(12，513)，其包括光學(xué)位置標(biāo)記(100)，所述光學(xué)位置標(biāo)記用于通過(guò)光學(xué)記錄頭(500)讀出，以發(fā)射預(yù)確定波長(zhǎng)的光，所述光優(yōu)選地為紅光或紅外光，尤其為635nm的光，所述光學(xué)位置標(biāo)記(100)具有標(biāo)記高度(MH)、標(biāo)記長(zhǎng)度(ML)以及在所述基板(12，513)上的預(yù)確定已知位置，所述光學(xué)位置標(biāo)記(100)沿縱向方向(x)延伸并被布置成用于改變所述位置標(biāo)記(100)沿所述縱向方向(x)的反射系數(shù)，其中所述光學(xué)位置標(biāo)記(100)包括：

第一區(qū)域(101)，其具有第一反射系數(shù)和第一寬度(W)；

第二區(qū)域(102)，其與所述第一區(qū)域(101)相鄰，并且形成第一區(qū)域?qū)?105)，所述第二區(qū)域(102)具有第二反射系數(shù)和第二寬度(W)，并且所述第二反射系數(shù)與所述第一反射系數(shù)不同，其中所述第一區(qū)域(101)包括與所述預(yù)確定波長(zhǎng)的光的波長(zhǎng)相比較的次波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)(SWS)。

2.如權(quán)利要求1所述的基板(12，513)，其中所述次波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)(SWS)包括多個(gè)規(guī)則的條形節(jié)段，其沿垂直于所述縱向方向(x)的另一個(gè)方向(y)延伸，其中每一個(gè)規(guī)則的節(jié)段是由第一子區(qū)域和第二子區(qū)域形成的。

3.如權(quán)利要求1所述的基板(12，513)，其中所述次波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)(SWS)包括多個(gè)規(guī)則的條形節(jié)段，其沿所述縱向方向(x)延伸，其中每一個(gè)規(guī)則的條形節(jié)段由第一子區(qū)域和第二區(qū)域形成。

4.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基板(12，513)，進(jìn)一步包括第一區(qū)域?qū)?105)和至少第二區(qū)域?qū)?105)，其中所述第二區(qū)域?qū)?105)基本上等于所述第一區(qū)域?qū)?105)。

5.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基板(12，513)，其中所述第一寬度(W)和所述第二寬度(W)處于1μm和2μm之間的范圍。

6.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基板(12，513)，其中所述標(biāo)記長(zhǎng)度(ML)為至少100μm。

7.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基板(12，513)，其中所述次波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)(SWS)提供低于所述第二反射系數(shù)的所述第一反射系數(shù)。

8.如權(quán)利要求4至7中任一項(xiàng)所述的基板(12，513)，在直接或間接地從屬于權(quán)利要求4的范圍內(nèi)，其中所述第一區(qū)域?qū)?105)和所述第二區(qū)域?qū)?105)構(gòu)成第一主區(qū)域(110)，并進(jìn)一步包括與所述第一主區(qū)域(110)相鄰的第二主區(qū)域(120)，其中所述第二主區(qū)域(120)基本無(wú)結(jié)構(gòu)。

9.如權(quán)利要求8所述的基板(12，513)，進(jìn)一步包括與所述第二主區(qū)域(120)相鄰的第三主區(qū)域(130)，其中，當(dāng)沿所述縱向方向(x)觀察時(shí)，所述第二主區(qū)域(120)嵌入所述第一主區(qū)域(110)和所述第三主區(qū)域(130)之間。

10.如權(quán)利要求9所述的基板(12，513)，其中所述第三主區(qū)域(130)以與包括次波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的所述第一區(qū)域(101)相同的方式被建造。

11.如權(quán)利要求10所述的基板(12，513)，其中所述第一主區(qū)域(110)和所述第三主區(qū)域(130)基本相同。

12.如權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的基板(12，513)，進(jìn)一步包括第一端部區(qū)域(140)，其位于與所述第一主區(qū)域(110)相鄰的所述光學(xué)位置標(biāo)記(100)的第一端部處，所述第一端部區(qū)域(140)基本無(wú)結(jié)構(gòu)。

13.如權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所述的基板(12，513)，進(jìn)一步包括位于與所述第三主區(qū)域(130)相鄰的所述光學(xué)位置標(biāo)記(100)的第二端部處的第二端部區(qū)域(140)，所述第二端部區(qū)域(140)基本無(wú)結(jié)構(gòu)。

14.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基板(12，513)，其中所述標(biāo)記高度是所述紅光或紅外光的所述波長(zhǎng)的多倍。