[發(fā)明專利]硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380068161.8
• 申請(qǐng)日: 2013-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN104871302B
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 竹野博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 信越半導(dǎo)體株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 葛凡

1.一種硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其是對(duì)硅基板的表面進(jìn)行化學(xué)鈍化處理之后，測(cè)定再結(jié)合壽命的方法，其特征在于，

從所述化學(xué)鈍化處理到所述再結(jié)合壽命的測(cè)定結(jié)束的期間，至少進(jìn)行防護(hù)所述硅基板不受紫外線照射的紫外線防護(hù)處理，并且，在被遮光的環(huán)境下進(jìn)行所述化學(xué)鈍化處理到所述再結(jié)合壽命的測(cè)定，由此進(jìn)行所述紫外線防護(hù)處理。

2.一種硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其是對(duì)硅基板的表面進(jìn)行化學(xué)鈍化處理之后，測(cè)定再結(jié)合壽命的方法，其特征在于，

從所述化學(xué)鈍化處理到所述再結(jié)合壽命的測(cè)定結(jié)束的期間，至少進(jìn)行防護(hù)所述硅基板不受紫外線照射的紫外線防護(hù)處理，并且，在紫外線被切斷的環(huán)境下進(jìn)行所述化學(xué)鈍化處理到所述再結(jié)合壽命的測(cè)定，由此進(jìn)行所述紫外線防護(hù)處理。

3.如權(quán)利要求2所述的硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其特征在于，所述化學(xué)鈍化處理通過將所述硅基板插入至切斷紫外線的材質(zhì)的合成樹脂制的袋或容器而使其浸漬于化學(xué)鈍化用的溶液來進(jìn)行，測(cè)定再結(jié)合壽命。

4.如權(quán)利要求1或2所述的硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其特征在于，利用碘醇溶液來進(jìn)行所述化學(xué)鈍化處理。

5.如權(quán)利要求1或2所述的硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其特征在于，所述再結(jié)合壽命的測(cè)定是通過微波光導(dǎo)電衰減法來測(cè)定的。