[發(fā)明專利]循環(huán)冷卻加熱裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380067968.X
• 申請(qǐng)日: 2013-11-07
• 公開（公告）號(hào): CN104903995A
• 公開（公告）日: 2015-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 后藤大輔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 科理克株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/3065
• 分類號(hào): H01L21/3065;F28D1/06
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 劉曉迪

1.一種循環(huán)冷卻加熱裝置，其將對(duì)等離子體蝕刻裝置的腔室供給的循環(huán)流體冷卻、加熱，其特征在于，具有：

罐，其貯存循環(huán)流體；

泵，其使循環(huán)流體在所述罐及所述腔室之間循環(huán)；

熱交換器，其在循環(huán)流體和冷卻水之間進(jìn)行熱交換；

加熱裝置，其將所述罐內(nèi)的循環(huán)流體加熱，

所述熱交換器浸漬在所述罐內(nèi)的循環(huán)流體中。

2.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)冷卻加熱裝置，其特征在于，

所述罐具有有底箱狀的罐主體、將罐主體的上部堵塞的蓋體，

所述熱交換器及所述加熱裝置安裝在所述蓋體上。

3.如權(quán)利要求2所述的循環(huán)冷卻加熱裝置，其特征在于，

在所述蓋體上安裝液面?zhèn)鞲衅鳎撘好鎮(zhèn)鞲衅骶哂性谒龉迌?nèi)的循環(huán)流體中飄浮的浮子。

4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的循環(huán)冷卻加熱裝置，其特征在于，

在所述罐通過被循環(huán)流體充滿的部分以外的空間形成空氣室，并且設(shè)有使所述空氣室和所述罐的外部連通的通氣裝置。

5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的循環(huán)冷卻加熱裝置，其特征在于，

在所述熱交換器連接有使循環(huán)流體流入的流入路徑，

在所述流入路徑中設(shè)有將在該流入路徑流動(dòng)的循環(huán)流體向所述罐內(nèi)釋放的溢流閥。