[發明專利]溫度控制裝置

有效

• 申請號: 201380067966.0
• 申請日: 2013-11-07
• 公開（公告）號: CN104885026B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: 后藤大輔
• 申請（專利權）人: 科理克株式會社
• 主分類號: G05D23/00
• 分類號: G05D23/00;H01L21/3065
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 劉曉迪

1.一種溫度控制裝置，其通過將被調溫后的循環流體向等離子體蝕刻裝置的腔室供給并使其循環，將所述腔室控制到目標溫度，其特征在于，具有：

循環冷卻加熱部，其將循環流體冷卻、加熱，并且在其與所述腔室之間使循環流體循環；

控制部，其調節循環流體的溫度而將所述腔室的溫度控制到目標溫度；

框體，其收納循環冷卻加熱部及控制部，

在所述框體內，將配置所述循環冷卻加熱部的循環室和配置所述控制部的控制室設置在同一平面上，

在所述循環室至少配置有分別構成所述循環冷卻加熱部的、貯存循環流體的罐、使循環流體循環的泵、將循環流體冷卻的熱交換器以及將循環流體加熱的加熱裝置，

在所述控制室至少配置有分別構成所述控制部的、控制所述泵的驅動的變換器及對所述加熱裝置的接通斷開進行切換的切換裝置。

2.如權利要求1所述的溫度控制裝置，其特征在于，

所述框體具有將內部分隔成所述循環室和所述控制室的分隔面板，

所述泵在所述循環室與所述分隔面板接近配置，

所述變換器在所述控制室安裝于所述分隔面板上，

在所述循環室內，使從所述框體的外部吸入冷卻空氣的吸入風扇位于俯視觀察下的所述分隔面板的一端側而設置，并且使將被吸入的冷卻空氣向所述框體的外部排出的排出風扇位于所述分隔面板的一端側而設置。

3.如權利要求1或2所述的溫度控制裝置，其特征在于，

所述循環室位于接近所述等離子體蝕刻裝置的一側，所述控制部位于從所述等離子體蝕刻裝置離開的一側。

4.如權利要求1～3中任一項所述的溫度控制裝置，其特征在于，

所述框體具有設有與所述循環室對應的底座的底部面板。

5.如權利要求1～4中任一項所述的溫度控制裝置，其特征在于，

在所述框體上面部的與所述控制室對應的位置設有操作面板。